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如有侵权请联系网站删除、仅供学习交流 如有侵权请联系网站删除、仅供学习交流 仅供学习交流 仅供学习交流 离子束加工原理特点及其应用研究 本科课程论文 学 院 专 业 机械设计制造及其自动化 年 级 2012 学 号 姓 名 指导教师 成 绩 2014年12月10日 目录 TOC \o 1-5 \h \z \o Current Document 1前言 1 \o Current Document 2离子束加工的原理 2 \o Current Document 3离子束加工的优缺点 2 \o Current Document 离子束加工的优点 3 加工精度高 3 染少、无氧化 3 对材料影响小 3 \o Current Document 离子束加工的缺点 3 \o Current Document 4离子束加工的分类 3 \o Current Document 离子蚀刻 3 \o Current Document 离子溅射沉积 4 \o Current Document 离子镀 4 \o Current Document 离子注入 4 \o Current Document 5离子束加工的主要应用 4 \o Current Document 刻蚀加工的定义及具体应用领域 4 刻蚀加工的定义 4 刻蚀加工的应用领域 5 \o Cur