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半导体温度传感器及其芯片集成技术_图文. 半导体温度传感器及其芯片集成技术_图文. PAGE / NUMPAGES 半导体温度传感器及其芯片集成技术_图文. 第 12期 ? 传感器技术 ? 半导体温度传感器及其芯片集成技术 * 林凡 ,吴孙桃。郭东辉 (厦门大学 ,福建厦门 361005 纲要 :半导体温度传感器是利用集成电路的工艺技术 ,将硅基半导体的温度敏感元件与外头电路集成在同一芯片 上,与传统种类的温度传感器比较 ,拥有敏捷度高、 线性好、体积小、功耗低、易于集成等长处。分别介绍了双极型工艺和 CMOS 工艺下的半导体温度传感器的基本设计原理 ,并详细提出一种 CMOS 型集成温度传感器设计电路。别的 ,还介绍 了半导体温度传感器的芯片集成技术 ,并总结了 Ic 设计中出现的重点技术问题与解决方法。 重点词 :半导体温度传感器 ;集成电路 ;单片系统 中图分类号 :TN212.11 文件表记码 :A 文章编号 :1002—1841(200312—0001—02 Semiconductor Temperature Sensor and its SoC Tedmology LIN Fan,、vU Sum-tao,GUO Dong-hui (Xiamen University,Xiamen 361005,China Abstract:Using IC technology,Semiconductor temperature鸵 nsor caIl realize the in 嘧 tion of sensing and di西 tal processing func? tions on the班 llne chip.G 砌 1 删 with otller traditional temperature se删娜 ,it has the advantages of 800d sensitivity,lineatrity,low power consumption,etc.Introducing the basic desi伊 principles of semiconductor temt℃ rature靶删 ,using bipolar and CMOS technology re-spectively,and妯 ng forward a practical circuit of CMOS integrated temperature senfior.In additions,its system-on-chip(SoCtechnology and key technologies in the IC design am￥1Jmmalq_zed. Key Words:Semiconductor Temperature Sensor;Integrated Circuit;System-on-Chip. 1 前言 性。此外 ,在 cMOS 工艺中利用寄生双极晶体管也能达到较好 度传感器 (如热电偶、铂电阻、双金属开关等有 的传感性能。  传统的温 很多限制硅 ,只好供给模拟信号输出 ,且在大部分应用中输出 过去大部分的集成温度传感器是用双极型工艺实现 ,选择 端都需要此外配置比较器、 AD 变换器或放大器等。别的还受 双极晶体管为温敏器件进行设计。可是当今 CMOS 工艺成为 到封装体积、线性表现以及正确度的限制 ,限制了其在微型化 主导工艺 ,并跟着 Ic 集成度的提升和便携式设施的普及 ,能在 高端电子产品中的应用。跟着集成工艺的发展 , 半导体集成温 标准数字工艺中实现的 CMOS 集成温度传感器拥有低电源、低 度传 感器将协助电路中的元件和温度传感元件同时集成在一 功耗、占用面积小、易于 在同一芯片长进行信号调理和信号处 块芯片上 ,拥有价钱便宜、设计简单、丈量精 确、高度集成等优 理的长处 ,也渐渐获取人们的重视。以下将主要介绍这两种工 点, 在计算机、电信、工业控制等领域获取宽泛的应用。最近几年 艺技术下温度传感器的设计原理 ,并提出一种可实质应用的集 来,集成温度传感器在均匀价钱有所降落的同 时 ,销售率却以 成温度传感器电路。 17%。 18%的速度连续增添 ,2000 年集成温度传感器总收人为 2.1 双极晶体管的 温度传感原理 2.3 亿美元 ,据预计 2006 年总收入将达 6 亿美元。所以将介绍 二极管电流包含 扩散电流和耗尽层、表面层里的产生一复 半导体温度传感器的设计原理及其芯片 集成技术 ,并总结温度 合电流 ,这些电流相对纯扩散电流有不一样的温度行为 ,晶体管 传感器 IC 的设计中的重点技术问题。 的基极能够汲取这部分电流 ,所以正向偏置的 双极晶体管的集 半导体温度传感器的设计原理 在以硅为