《元器件可靠性技术》第8章静电放电损伤及防护.pptx

第8章静电放电损伤及防护第8章 静电放电损伤及防护工程系统工程系 可靠性工程研究所8.1 静电的产生8.2 静电源8.3 静电放电(ESD)的放电模型8.4 半导体器件对静电放电的敏感度8.5 静电放电损伤的特点、失效模式和失效机理8.6 静电防护8.1静电的产生工程系统工程系 可靠性工程研究所· 静电是指物体所带电荷处于静止或缓慢变化的相对稳定状态。 特点是高电位小电量。· 物体摩擦带电---- 绝缘体之间· 固体感应带电----导体之间摩擦带电—出现电子转移，· 与材料、摩擦、分离的速度、接触面积、接触压力、环境条件 等有关· 电荷产生的速度；摩擦起电的相对位置；接触紧密程度；摩擦 系数；分离速度；· 放电速度：材料的电导率；相对湿度；表面水汽分布；再接触 的速度感应带静电· 当一个导体靠近带电体时，会受到该带电体形成的静电场的作用，在靠近带 电体的导体表面感应出异种电荷，远离带电体的表面出现同种电荷。8.1静电的产生工程系统工程系 可靠性工程研究所·一些ESD实例：·闪电·在干燥天气时，你触摸另一个人产生的电击感 觉·在铺有地毯的地板上行走后，手接触金属门把 手产生的电击。8.2 、静电源工程系统工程系 可靠性工程研究所· 人体静电表1活动人体身上的典型静电电压人体活动静电电压(V)相对湿度10～20%相对湿度65～90%在合成纤维地毯上走动35,0001,500在聚乙烯地