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第六章 电子束和离子束加工 《精密与特种加工》 Precision and non-traditional machining 2 主要内容 电子束加工 离子束加工 第六章 电子束和离子束加工 3 第六章 电子束和离子束加工 1、概述 电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工设备。 利用高能量密度的电子束对材料进行工艺处理的一切方法统称为电子束加工。 6.1 电子束加工 4 第六章 电子束和离子束加工 电子束加工应用于：电子束焊接、打孔、表面处理、熔炼、镀膜、物理气相沉积、雕刻、铣切、切割以及电子束曝光等。 世界上电子束加工技术较先进的国家：德国、日本、美国、俄罗斯以及法国等。 经过几十年的发展，目前电子束加工技术已在核工业、航空宇航、精密制造等工业部门广泛应用。 5 第六章 电子束和离子束加工 在真空条件下，利用电子枪中产生的电子经加速、聚焦后能量密度为106～109w/cm2的极细束流高速冲击到工件表面上极小的部位，并在几分之一微秒时间内，其能量大部分转换为热能，使工件被冲击部位的材料达到几千摄氏度，致使材料局部熔化或蒸发，来去除材料。 电子束加工原理 2、加工原理 6 （1）只使材料局部加热就可进行电子束热