非球面轮廓测量与分析.pptVIP

Form Talysurf 测量非球面 2) Raw Data 得到原始数据 第二十八页，编辑于星期六：点 四十五分。 cx2 +a1|x| +a2| x|2 + a3| x|3 … +a20 | x|20 Z(x)= 1+ ? 1-(K+1) c2x2 X is the Radial distance from the Aspheric Axis X为非球面轴的径向距离 Z is the corresponding vertical distance Z为相应的垂直距离 a is the indexed Polynomial Coefficient a为多项式系数 C is the reciprocal of the Base Radius C为基圆半径的倒数 K is the Conic Constant of the Surface K为二次常数 3) Standard Equation for an Aspheric Surface 非球面的标准方程 Form Talysurf 测量非球面 Where: 第二十九页，编辑于星期六：点 四十五分。 Aspheric Data 非球面数据 Radius=40.0mm K= -1 A4= 5.3188e-007 A6=5.5231e-009 A8=-1.6774e-011 A10=-6.3352e-014 4) Input Aspheric Data 输入理论设计数据 Form Talysurf 测量非球面 第三十页，编辑于星期六：点 四十五分。 X Axis Z Axis C B A=Aspherics axis 非球面轴 5) Aspheric Data Fit 实测数据与理论数据拟合 Form Talysurf 测量非球面 A B=Actual profile 实际轮廓 C=Absolute aspheric form 绝对非球面形状 第三十一页，编辑于星期六：点 四十五分。 +Z 轴 -Z 轴 -X轴 +X 轴 Aspherics axis 非球面轴线 6) Residual Error After Form Removal 形状去除之后的残余误差 Form Talysurf 测量非球面 D=B-C(Residual error after absolute aspheric form removal) 去除绝对形状后的残余误差 第三十二页，编辑于星期六：点 四十五分。 7) Analysis Results 分析结果 Form Talysurf 测量非球面 第三十三页，编辑于星期六：点 四十五分。 非球面参数简介 第三十四页，编辑于星期六：点 四十五分。 非球面参数简介 Figure(Fig.PV) (形狀誤差 ): Figure is the vertical distance between the least squares fit line and the profile height intersected by the Aspheric axis Fig值是實際轮廓之最小二乘拟合直线与實際轮廓被非球面轴线分割点之间的垂直距离. 第三十五页，编辑于星期六：点 四十五分。 非球面参数简介 Pa/Ra(轮廓算术平均偏差? ): Pa is the average absolute deviation of the residuals from the mean line . Analogous to unfiltered surface texture parameter Ra. Pa是相对于中线绝对残余偏差的平均值.类似地,不去除表面结构参数即为Ra. 第三十六页，编辑于星期六：点 四十五分。 非球面参数简介 Pt/Rt(轮廓总高度? ): Pt is the maximum peak to valley height of the profile in the assessment length(ln). Analogous to unfiltered surface texture parameter Rt. Pa是指在评定长度内最大轮廓峰高与最大轮廓的谷深间的距离.类似地,不去除表面结构参数即为Rt. 第三十七页，编辑于星期六：点 四十五分。 非球面参数简介 Smx(? ): Smx is the maximum surface slope error.This is the maximum difference in angular slope between any two adjacent data poi