第7章-光栅传感器PPT课件.ppt

第7章 光栅传感器;7.1 光栅基础; 按其栅线形式，光栅可分为黑白光栅（幅值光栅）和闪耀光栅（相位光栅）。黑白光栅是利用照相复制工艺加工而成，其栅线与缝隙为黑白相间结构；相位光栅的横断面呈锯齿状，常用刻划工艺加工而成。 按其应用类型，光栅可分为长光栅和圆光栅。长光栅又称为光栅尺，用于测量长度或线位移；圆光栅又称盘栅，用于测量角度或角位移。 目前还发展了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅。本章主要介绍透射式的计量光栅。 ; 2. 光栅结构 所谓光栅，是在刻划基面上等间距（或不等间距）地密集刻划，使刻线处不透光，未刻线处透光，形成透光与不透光相间排列构成的光电器件。 光栅上的刻线称为栅线，栅线的宽度为a，缝隙宽度为b，一般取a=b，而w=a+b称为栅距（也称为光栅常数或光栅节距，是光栅的重要参数，用每毫米长度内的???线数表示栅线密度，如100线／mm、250线／mm）。 圆光栅还有一个参数叫栅距角γ或称节距角，它是指圆光栅上相邻两条栅线的夹角。圆光栅上是等栅距角的向心条纹。;图7.1 光栅结构 ; 圆光栅有三种栅线形式： 一种是径向光栅，其栅线的延长线通过圆心； 另一种是切向光栅，其栅线的延长线与光栅盘的一个小同心圆相切； 还有一种是其栅线为一簇等间距同心圆组成的环形光栅。 圆光栅通常在圆盘上刻有1080～64800条线。 圆光栅