第七章--光栅传感器PPT课件.ppt

第7章　光栅传感器 7.1　光栅基础 7.2　光栅传感器的工作原理 7.3　莫尔条纹细分技术 7.4　常用光学系统 思考题与习题 　 7.1　光栅基础7.1.1　光栅的分类及结构　　1. 光栅的分类　　光栅按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线细密，利用光的衍射现象，主要用于光谱分析和光波长等的测量。在几何量计量中使用的光栅称为计量光栅。计量光栅主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、振动等几何量的测量。　　按其透射形式，光栅可分为透射式光栅和反射式光栅。刻划基面采用玻璃材料的为透射式光栅；刻划基面采用金属材料的为反射式光栅。 　　按其栅线形式，光栅可分为黑白光栅(幅值光栅)和闪耀光栅(相位光栅)。黑白光栅是利用照相复制工艺加工而成的，其栅线与缝隙为黑白相间结构；相位光栅的横断面呈锯齿状，常用刻划工艺加工而成。　　按其应用类型，光栅可分为长光栅和圆光栅。长光栅又称为光栅尺，用于测量长度或线位移；圆光栅又称盘栅，用于测量角度或角位移。长光栅有透射式和反射式两种，而且均有黑白光栅和闪耀光栅；圆光栅一般只有透射式黑白光栅。 　　2. 光栅的结构　　所谓光栅，是在刻划基面上等间距(或不等间距)地密集刻划，使刻线处不透光，未刻线处透光，形成透光与不透光相间排列构成的光电器件。光栅上的刻线称为栅线。栅线的宽度为a，缝隙宽度为b