国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》.ppt

国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》中强制性条文GB 50472-2008;1、电子工厂洁净厂房特点 2、章节内容简介 3、强制性条文等介绍 4、结语 ;1、电子工厂洁净厂房特点 ;1、电子工厂洁净厂房特点;电子工厂洁净厂房的特点： 微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径 ISO1级或更严格。 高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输 送。 对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定 对防静电、电磁兼容等 大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万m2。;1、电子工厂洁净厂房特点 ;1、电子工厂洁净厂房特点 ;1、电子工厂洁净厂房特点 ;1、电子工厂洁净厂房特点 ;1、电子工厂洁净厂房特点 ;1、电子工厂洁净厂房特点 ;集中新风处理+各种循环新风; 美国消防标准（强制性标准）NFPA318《洁净室消防标准》（Standard for the Protection of Clean rooms,2000） 第1章总则，范围、目的、适用性、等同性、术语等； 第2章消防自动灭火系统、报警系统和检测系统(烟感、可燃气体等); 第3章通风和排风系统,送风和循环风,局部排风,排烟系统； 第4章土建、洁净区与非洁净区的分隔等； 第5章化学品贮存和处理,对危险化学品贮存、分配间的设计、建造要求等； 第6章危险气体钢瓶的存放、分配； 第7章大宗硅烷系统，管式拖车、集装气瓶； 第8章生产与辅助设备、工艺液体加热设备、电气设备、真空泵等； 第9章出入口方式，按NFPA101生命安全规范进行设计； 第10章参照出版物，所列NFPA或ASTM或SEMI等，被认为是标准的一部分。 ;2、章节内容安排;; ;3、强制性条文等介绍 ;3．2．2 各种电子产品/有关工序的空气洁净度等级根据产品生产工艺要求确定；无要求时，可参照附录A要求确定。 3.2.3 洁净室（区）的温度和相对湿度应按表3.2.3确定。 ;4.2.2 电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。 4.2.3 洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时，宜采用微环境等型式。 4.3.3 洁净室（区）内应少分隔，但下列情况应设隔墙： 1 按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时； 2 在电子产品生产过程中，经常不同时使用的两个生产区段或房间之间； 3 生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序、设备，宜分隔设独立房间。;5.4.2 物料净化用室与洁净室（区）之间应设置气闸室或传递窗。 5．5．6 电子工厂洁净厂房内，设置真空泵时，应符合下列规定： 1．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气排入排气系统。 2．对传输含有可燃气体的真空泵，若可燃气体浓度超过爆炸下限的20%时应设尾气处理装置，去除（稀释）可燃气体组份后才能排入排气系统。 3．传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫，吹扫控制阀与生产工艺设备操作系统联锁。 ;6.2.l 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。 6.2.3 洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。 丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区），在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的最大允许建筑面积可按生产工艺要求确定。 6.2.4 洁净室的上技术夹层、下技术夹层和洁净生产层，当按其构造特点和用途作为同一防火分区时，上、下技术夹层的面积可不计入防火分区的建筑面积，但应分别采取相应的消防措施。;微电子洁净厂房消防设施现状－－火灾报警系统：热感型、烟感型、早期烟雾 探测器等;微电子洁净厂房消防设施现状－－火灾报警系统：热感型、烟感型、早期烟雾 探测器等;（高灵敏度早期烟雾探测装置（VESDA，Very Early Smoke Detector Apparatus）或空气取样式烟雾探测系统（Air Sampling Type Smoke Detection System） ;3、强制性条文等介绍 ;VESDA与一般烟雾探测器的比较;6.2.6 在综合性厂房的一个防火分区内，洁净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施。不燃烧体隔断设施应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。 6.2.7 洁净厂房的安全出口的设置，应符合下列规定： 1 每一生产层、每个防火分区或每