洁净度等级标准.pdfVIP

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ISO14644-1 (国际标准) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个 / 每立方米空气粒子) 类似于 空气洁净 传统级别 度等级 (N) ISO Class1 10 2 ISO Class2 100 24 10 4 ISO Class3 1,000 237 102 35 8 1 级 ISO Class4 10,000 2,370 1,020 352 83 10 级 ISO Class5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 100 级 ISO Class6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 1000 级 ISO Class7 352,000 83,200 2,930 10000 级 ISO Class8 3,520,000 832,000 29,300 100000 级 ISO Class9 35,200,000 8,320,000 293,000 各国洁净度等级近似对照表: 个/M≥ ISO US US EEC FRANCE GERMANY JAPAN 14644-1(1999) 209E(1992) 209D(1988) cGMP(1989) AFNOR(1981) VDI 2083(1990) JAOA(1989) 1 - -

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