精密位移工作台与高速精密主轴系统归纳.pdfVIP

目录 摘要 1 第一章 精密位移工作台 1 1.1 前言 1 1.2 精密位移工作台分类及应用 1 1.2.1 精密位移工作台的分类 1 1.2.2 精密位移工作台的应用 2 1.3 关键技术分析 3 1.3.1 微位移驱动器 3 1.3.2 微定位执行机构 4 1.3.3 位移检测器 5 1.3.4控制方式 5 1.4 国内外发展现状 5 第二章 高速精密主轴系统 7 2.1 前言 7 2.2 高速精密电主轴的发展现状 7 2.2.1 国内高速精密电主轴的发展现状 8 2.2.2 国外高速精密电主轴的发展现状