纯水的输送管材概论(doc9页)(完美版).pdfVIP

18.2 M Ω 纯水的输送管材概论 一、纯水的等级与规范 ˙AAMI Hemodialysis Grade Water ˙ASTM Reagent Grade Water ˙ASTM Electronics Grade Water ˙CAP Reagent Grade Water ˙Cell Culture Water ˙USP Grade Water 工业上使用的纯水， 以电子级纯水的纯度要求最高。 4 ”晶圆厂对纯水的纯度要求为 12M Ω， 6”晶圆厂提升至 16 M Ω。到了 8 ”晶圆厂，它对纯水的纯度要求骤然提升到 18.2 M Ω。今 日的 12”晶圆厂， LCD － TFT 厂等均使用 18.2 M Ω的纯水。 用来标示纯水纯度等级的导电度与电阻的关系如表一所示。 电子厂 ASTM D 5127-99 规范的电子级纯水标准如表二所示。 由超纯水设备制造出来的纯水，需要通过管道 (pipeline) 输送到工厂内的任一用户点 (POU) 。所以如何让制造完成的纯水不受任何污染而可以有效输送到需求的使用端，是一件 很重要的工作。 所有的管材都会将其所含的物质释放出来， 以金属管最严重， 再加上腐蚀因素， 完全不 适合作为纯水管道的管材。即使所谓的 SUS304，SUS304L ，或 SUS316L …等，都不能用来 输送高纯度的纯水。 因为不锈钢材质与纯水之间的过氧化 ( rouge ) 作用会产生锈蚀的针孔腐 蚀( pitting ) 效应，除了污染水质外， 也会造成管道的泄漏。 所以，严格来说水的导电度在 1 M Ω以下，不锈钢材质的管材是可以被接受的； 而水的导电度在 1 M Ω以上时，不锈钢材质的 管材是不可以被接受的。 塑料管与纯水之间没有过氧化 ( rouge ) 作用产生锈蚀的问题，只有管材本身释放 ( leaching ) 重金属离子等不纯物质污染水质的问题。 下面的图一可以说明各种材质塑料管本身从管壁释放 ( leaching ) 不纯物质的比较， 当然管壁释放 ( leaching ) 不纯物质的量愈少，愈符合我们的需求。需要特别注意的是：相同 管材，因制造供应厂商的差异不同，管壁释放 ( leaching ) 不纯物质的量也不同。 所以，以下本文所提及的 ABS 管需要 AS 规范的 ABS 管； PVDF 管需要 Solvay 的 PVDF 树脂生产的 PVDF 管。非 AS 规范的 ABS 管及 Solvay 的 PVDF 树脂生产的 PVDF 管，都不是本文所探讨与使用的对象。 图一 、各种材质塑料管本身从管壁释放 ( leaching ) 不纯物质的比较 图一 各种塑料管内壁 TOC值的比较 图二、 水在 PVDF管及 ABS 管 (AS 规范 ) 内之 TOC有机成分物质与运转时间的关系 可以确保管内 18.2 M Ω 的水质稳定之管材仅有 Solvay 的 PVDF与 AS 规范的 ABS两种，而 PVDF 的树脂原料必须由 Solvay 供应才会有表二的条件； 至于 ABS，则需要符合 AS(Australia Standard) 规范的 ABS 塑钢管，才有上述性质。 图二为依照 PVDF 纯水管材树脂原料主要供货商比利时 Solvay 公司的论文报告， AS 规范的 ABS 管跟其生产的 PVDF 管在输送 18.2 M Ω超纯水系统上是同等级且可以相互 比较的。 从这个图可以得出以下的结论： (1) ABS 管与 PVDF 管的内壁释放物极少。可