光纤预制棒制备工艺.ppt

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SiO2光纤预制棒制备工艺;主要内容;1、光纤预制棒的结构;; 管内化学气相沉积法工艺示意图; 沉积+烧结;;2.2 MCVD法存在的问题与对策;;微波谐振;熔融石英管;3.2 PCVD 法工艺的优点;4.管外化学气相沉积法(OVD);4.1 反应机理;4.2 OVD 法制备光纤预制棒的工艺;氯气 氯化亚砜;SOCl2和Cl2进行脱水处理反应方程式: (1) (≡Si-OH)+SOCl2== (≡ Si-Cl)+HCl +SO2 (2) H2O+SOCl2== 2HCl +SO2 (3) 2Cl2+2H2O ==4HCl +O2 ;OVD法的 优点;Tom

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