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生物医学传感器原理及应用第六章 压电式传感器 第六章 压电式传感器 压电式传感器是一种有源的（发电型）双向机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1880年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器. 第六章 压电式传感器1880年由居里兄弟(J. Curie and P. Curie)发现的。 晶体压电效应与压电材料 当某些晶体沿一定方向伸长或压缩时,在其表面上会产生电荷(束缚电荷),这种效应称为压电效应。晶体的这一性质称为压电性。压电效应是可逆的，即晶体在外电场的作用下要发生形变，这种效应称为反向（逆）压电效应。（电致伸缩效应）电压值 被测非电量压电效应测量电路U、I电荷值 第六章 压电式传感器压电式传感器的定义 利用压电材料的压电效应，实现机械能与电能相互转换的传感器。压电式传感器的感测量 动态力、机械冲击和振动，在声学、医学、力学、导航方面应用广泛。压电式传感器的种类 根据工作原理：正压电效应型和逆压电效应型。压电陶瓷位移器压电警号压电秤重浮游计压电加速度计 压电陶瓷超声换能器 第六章 压电式传感器 第六章 压电式传感器6.1 压电材料 6.2 压电效应及工作原理6.3 压电式传感器等效电路6.4 压电式传感器测量电路6.5 聚偏二氟乙烯（PVDF）压电式传感器6.6 压电式传感器应用压电材料 一、压电材料应具备主要特性（1）转换性能：要求具有较大的压电常数。（2）机械性能：机械强度高、刚度大。（3）电性能：高电阻率和大介电常数。（4）环境适应性：温度和湿度稳定性要好，要求具有较 高的居里点，获得较宽的工作温度范围。（5）时间稳定性：要求压电性能不随时间变化。二、压电材料的参数：（1）压电常数：压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数 , 它直接关系到压电输出的灵敏度。 （2）弹性常数：压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 压电材料 二、压电材料的参数：（3）介电常数：处于工作状态的压电传感器相当于一个电容器，存在着一个压电元件材料沿电极面法线方向的自由介电常数ε 。对于一定形状、 尺寸的压电元件 , 其固有电容与介电常数有关 ; 而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 （4）机电耦合系数：在压电效应中 , 其值等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根 ; 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 （5）电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏 , 从而改善压电传感器的低频特性。 （6）居里点：压电材料开始丧失压电特性的温度压电材料 三、石英晶体石英晶体的突出优点：性能非常稳定，有很大的机械强度和稳定的机械性能。 转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而改变）工作湿度高达100%、稳定性好。绝缘性能也相当好。但石英材料价格昂贵，且压电系数比压电陶瓷低得多，因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。压电材料 石英（SiO2）是一种具有良好压电特性的压电晶体。其介电常数和压电系数的温度稳定性相当好，在常温范围内这两个参数几乎不随温度变化，如下两图。 由图可见，在20℃～200℃范围内，温度每升高1℃，压电系数仅减少0.016％。但是当到573℃时，它完全失去了压电特性，这就是它的居里点。 压电系数d11＝2.31×10－12C/N；莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。61.00相对介电常数εdt/d20斜率：－0.016％/℃50.9940.9830.972居里点0.961t℃t/℃00.9510020030040050060010012014016018020020406080石英的d11系数相对于20℃的d11温度变化特性石英在高温下相对介电常数的温度特性压电材料 三、石英晶体石英晶体的两种类型：天然和人工培养。人工培养的石英晶体的物理和化学性质几乎与天然石英晶体没有区别，因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。天然石英是一种各向异性晶体：按不同方向切割的晶片，其物理性质（如弹性、压电效应、温度特性等）相差很大。在设计石英传感器时，应根据不同使用要求正确地选择石英片的切型。人造晶片压电材料 石英晶体切片及封装石英晶体薄片双面镀银并封装石英晶体振荡器（晶振）晶振 石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率。压电材料 四、压电陶瓷（2）锆钛酸铅系压电陶瓷锆钛酸铅（PZT）是由PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb（Zr、Ti）O3。与钛酸钡相比，压电系数更大，居里点温度在300℃以上，各项机电参数受温度影响小，时间稳定性好。在锆钛酸中添加一种或两种其它微量元素（如铌、锑、