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1 汽车进气歧管压力传感器 1 进气歧管压力传感器结构及用途 一、概念 （1）进气歧管：进气歧管位于节气门与引擎进气门之间 第1页/共31页 1 进气歧管压力传感器结构及用途 一、概念 （2）压力传感器：把进气歧管内节气门后方的压力变化转化为电 信号，和发动机转速信号一起送入发动机控制单元（ECU），ECU 据此确定基本喷油量 第2页/共31页 1 进气歧管压力传感器结构及用途 二、安装位置 发动机机舱内，用真空管与进气总管相连； 节气门后方的进气管上 第3页/共31页 1 进气歧管压力传感器结构及用途 三、分类 按其检测原理可分为： 压敏电阻式 电容式 电感式 表面弹性波式 注：应用较多的是压敏电阻式和电容式两种。 第4页/共31页 2 压敏电阻式结构与原理 压敏电阻式 （1）结构组成： 真空室--1 硅膜片--2 （四个应变电阻） 集成电路—3 第5页/共31页 2 压敏电阻式结构与原理 （2）内部结构： 主要由硅膜片、真空室、硅杯、底座、真空管接头和引线电极等 硅杯与壳体、底座之间组成的腔室为真空室，真空室为基准压力 室，基准压力为0。 第6页/共31页 2 压敏电阻式结构与原理 第7页/共31页 2 压敏电阻式结构与原理 第8页/共31页 2 压敏电阻式结构与原理 （3）工作原理： 压力转换元件是利用半导体的压阻效应制成的硅膜片， 一侧是真空室，另一侧是进气管负压。 进气压力↑膜片变形↑应变电阻↑输出电压信号↑ 第9页/共31页 2 压敏电阻式结构与原理 （4）信号特点： 随着进气歧管压力的上升，传感器 的输出电压越来越高。基本上是呈 线性增长关系 在通常情况下，传感器输出信号电 压范围应该从怠速运转时的大约， 平稳上升到气节门全开时的大约5V。 第10页/共31页 2 压敏电阻式结构与原理 （5）优缺点： 优点：体积小，精度高，响应性好，成本低。 缺点：急加速时响应慢。 注意：安装在压力波动小的部位。 第11页/共31页 3 进气歧管压力传感器设计 （1）参数的选取： 压力测量范围：15~300PSIG 工作电压：5VDC或 工作温度：-40℃-85℃ 晶圆片规格：100mm(4in)X500μm 晶圆片参数：杨氏模量E=190000MPa 泊松比ν=0.25 屈服应力δs=7000MPa 工作温度范围：-40~85℃ 第12页/共31页 3 进气歧管压力传感器设计 （2）尺寸的选取： 硅膜边长a：500μm 硅膜厚度h：11μm 硅片边长A：1000μm 硅片厚度H：110μm 工作温度范围：-40~85℃ 第13页/共31页 3 进气歧管压力传感器设计 （2）尺寸的选取 工作温度范围：-40~85℃ 第14页/共31页 3 进气歧管压力传感器设计 （2）尺寸的选取 工作温度范围：-40~85℃ 第15页/共31页 3 进气歧管压力传感器设计   第16页/共31页 3 进气歧管压力传感器设计   工作温度范围：-40~85℃ 第17页/共31页 3 进气歧管压力传感器设计 （4）压敏传感器制作封装流程 c.压敏电阻及其互连线的制作 单晶离子注入法： 注入区域：硅衬底 注入杂质：B、BF2和P 一般流程：热氧SiO2生长→光刻电阻区→腐蚀SiO2→离子注入→ 去胶→退火→光刻SiO2开接触孔→溅铝 工作温度范围：-40~85℃ 第18页/共31页 3 进气歧管压力传感器设计 （4）压敏传感器制作封装流程 d.硅膜空腔的设计制作（用于接受气流压力） 通过电化学自停止腐蚀和掩膜版的配合形成边长为500um的正方 形硅膜，具体装置如下图所示： 工作温度范围：-40~85℃ 第19页/共31页 3 进气歧管压力传感器设计 （4）压敏传感器制作封装流程 e.硅盖空腔的设计制作（用于产生绝对压力） 采用深层反应离子刻蚀技术