光电子能谱分析.pptVIP

第四节 光电子能谱XPS的应用 一、化学分析 1、元素成份分析：可测定除氢以外的全部元素，对物质的状态没有选择，样品需要量很少，可少至10-8 g，而灵敏度可高达10-18 g，相对精度有1％，因此特别适于作痕量元素的分析。 理论基础—测定元素中不同轨道上电子 的结合能，不同元素的原子各层电子的结合能差别较大。见P290 表5-8。 第三十一页，共72页 2、元素的定量分析：从光电子能谱测得的信号是该物质含量或相应浓度的函数，在谱图上它表示为光电子峰的面积。目前虽有几种XPS定量分析的模型，但影响定量分析的因素相当复杂，一般只进行半定量分析，测量元素的相对含量。 以MoO3和MoO2为例： 第三十二页，共72页 MoO2 MoO3 235.6eV 232.2eV 233.9eV 230.9eV 强度 结合能 第三十三页，共72页 二、固体表面相的研究 1、表面污染分析 由于对各个元素在XPS中都会有各自的特征光谱，如果表面存在C、O或其它污染物质，会在所分析的物质XPS光谱中显示出来，加上XPS表面灵敏性，就可以对表面清洁程度有个大致的了解； 如图是Zr样品的XPS图谱，可以看出表面存在C、O、Ar等杂质污染。 第三十四页，共72页 第三十五页，共72页 2、界面成分分析 例一 第三十六页，共72页 第三十七页，共72页 第三十八页，共72页 例二 第三十九页，共72页 第四十页，共72页 第四十一页，共72页 第四十二页，共72页 例三 第四十三页，共72页 第四十四页，共72页 第四十五页，共72页 第四十六页，共72页 第四十七页，共72页 三、化学结构的鉴定 化学位移的应用 不同的化学环境导致核外层电子结合能的不同，这在XPS中表现为谱峰的变化，通过测量谱峰位置的移动多少及结合半峰宽，可以估计其氧化态及配位原子数。 （结合物质的物理、化学性质。） 第四十八页，共72页 第五节 俄歇电子能谱（AES) 第四十九页，共72页 电子跃迁过程 原子的内层电子被击出后，处于激发态的原子恢复到基态有两种互相竞争的过程： 1）发射荧光X射线，2）发射俄歇电子； 俄歇电子发射过程：原子内层电子空位被较外层电子填入时，多余的能量以无辐射弛豫传给另一个电子，并使之发射； 俄歇电子常用X射线能级来表示，如KLⅠLⅡ俄歇电子表示最初K能级电子被击出，LⅠ能级上的一个电子填入K层空位，多余的能量传给LⅡ能级上的一个电子并使之发射出来。俄歇跃迁通常有三个能级参与，至少涉及两个能级，所以第一周期的元素不能产生俄歇电子。 第五十页，共72页 第五十一页，共72页 第五章 光电子能谱分析 光电子能谱分析 第一页，共72页 第一节 概述 表面科学的主要发展始于20世纪60年代，它产生的两个最主要的条件是： 超高真空技术的发展 各种表面灵敏的分析技术不断出现 第二页，共72页 “表面”的概念 过去，人们认为固体的表面和体内是完全相同的，以为研究它的整体性质就可以知道它的表面性质，但是，许多实验证明这种看法是错误的； 关于“表面”的概念也有一个发展过程，过去将1微米厚度看成“表面”，而现在已把1 个或几个原子层厚度称为“表面”，更厚一点则称为“表层”。目前，表面分析方法仅对10个原子层的厚度（小于10nm）范围进行分析。 第三页，共72页 表面分析方法的特点 用一束“粒子” 作为探针来探测样品表面，探针可以是电子、离子、光子、中性粒子、电场、磁场、热或声波，在探针作用下，从样品表面发射或散射粒子或波，它们可以是电子、离子、光子、中性粒子、电场、磁场、热或声波。检测这些发射粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特征，或波的频率、方向、强度、偏振等情况，就可获得有关表面的信息。 第四页，共72页 探测粒子 发射粒子 分析方法名称 简称 主要用途 ? e X射线光电子谱 XPS 成份 e 紫外线光电子谱 UPS 分子及固体的电子态 e 同步辐射光电子谱 SRPES 成份、原子及电子态 ? 红外吸收谱 IR 原子态 ? 拉曼散射谱 RAMAN 原子态 ? 表面灵敏扩展X射线吸收谱细致结构 SEXAFS 结构 ? 角分辨光电子谱 ARPES 原子及电子态、结构 I 光子诱导脱附 PSD 原子态 e 俄歇电子能谱 AES 成份 e－电子 ? －光子 I－离子 见P273 表5-1 第五页，共72页 表中仅列出了探测粒子为电子和光子的常用表面分析方法，此外还有离子、中性粒子、电场、热、声波等各种探测手段。这些方法各有其特点，而没有万能的方法，针对具体情况，我们可以选择其中一种或综合多种方法来分析。 X射线光电子能谱 XPS 俄歇电子能谱 AES 第六页，共72页 第二节 光电