电光器件的制作方法.docxVIP

PAGE PAGE 1 电光器件的制作方法 1.本发明涉及一种在光通信和光学测量领域中用法的电光器件。背景技术：2.随着互联网的普及，通信量急剧增强，光纤通信的重要性变得十分高。光纤通信将电信号转换为光信号，并通过光纤传输光信号，并且具有宽频带、低损耗、抗噪声等的特征。3.作为将电信号转换为光信号的方式，已知有利用半导体激光器的挺直调制方式和用法了光调制器的外部调制方式。挺直调制不需要光调制器且成本低，但是对高速调制有极限，在高速且长距离的应用中，用法外部调制方式。4.作为光调制器，用法了由铌酸锂(linbo3，以下，称为“ln”)形成的光波导的光调制器具有高速、低损失、控制光波形的畸变少等的优点，在专利文献1中，藏匿了通过在铌酸锂单晶(块状ln)基板的表面蔓延li而形成有光波导的马赫曾德尔型光调制器。5.然而，在专利文献1所藏匿的光调制器中，具有被折返的2个信号电极，信号电极间因为折返而临近，因此，在元件之间产生电气串扰，由此产生使频带变窄的不良情况。6.现有技术文献7.专利文献8.专利文献1：日本专利第4485218号公报技术实现要素：9.本发明是有鉴于上述的问题而悉心讨论的结果，其目的在于，提供一种能够抑制元件间的电气串扰并且能够谋求宽频带化的电光器件。10.为了达成上述目的，本发明的一个方面所涉及的电光器件，其特征在