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微电子工艺课程设计 一、 摘 要 仿真 （simulation ）这一术语已不仅广泛出现在各种科技书书刊上， 甚至已 频繁出现于各种新闻媒体上。 不同的书刊和字典对仿真这一术语的定义性简释大 同小异，以下 3 种最有代表性， 仿真是一个系统或过程的功能用另一系统或过程 的功能的仿真表示； 用能适用于计算机的数学模型表示实际物理过程或系统； 不同实验对问题的检验。 仿真（也即模拟）的可信度和精度很大程度上基于建 模（ modeling ）的可信度和精度。建模和仿真（ modeling and simulation ） 是研究自然科学、工程科学、人文科学和社会科学的重要方法，是开发产品、制 定决策的重要手段。 据不完全统计， 目前，有关建模和仿真方面的研究论文已占 各类国际、国内专业学术会议总数的 10% 以上，占了很可观的份额。 集成电路仿真通过集成电路仿真器（ simulator ）执行。集成电路仿真器由 计算机主机及输入、输出等外围设备（硬件）和有关仿真程序（软件）组成。按