Hitachis-3400N扫描电镜中文操作手册(简易版).pdfVIP

Hitachi S-3400N II型 简易使用手册 一、开机 1．打开配电箱总电源，开启 UPS （若配备）。 2 ．合上背面总电源闸，确认“ STAGE ”闸和“ DISPLAY ”闸均为合闸状态。 3 ．将前面板钥匙从“ OFF ”转经“ START ”后自动转回“ ON ”。 3 ．电脑启动后，同时按下“ Ctrl ”+ “Alt ”+ “Delete ”，用户名为“ S-3400 ”，密码无，单击“ OK ” 键，进入系统。随后出现 S-3400N 登陆框。用户名为“ S-3400”，密码无，单击“ OK ”键，进入 程序。 二、放置样品 1．持续按住前面板“ AIR ”按钮 1 秒以上至指示灯亮，或单击操作界面右上角“ AIR ”键至该键变为 灰色。放气过程中，出现“ Specimen Setting ”对话框，同时出现放气进度指示条，直至进度条显 示“The chamber has been aired. Changing a sample is now possible ”时，单击对话框中的“ Specimen Setting ”键。 Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册1/7 5 ．将处理完毕的样品固定于样品台上，精确测量高度后，放入样品仓。在样品仓打开的状态下，在 “Specmen/Detector Setting ”对话框内选择合适的 Size 和 Height ，单击“ Stage Move”键，等样品 台停止上升后，确认样品不能碰到样品仓口的限高片，平稳推入样品台。 Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册2/7 6 ．按前面板“ EVAC ”按钮至指示灯亮，或单击操作界面左上角“ EVAC ”键至该键变为灰色。 三、样品观察 确认样品室已高真空， “ON ”亮显后，根据不同样品的观察需要， 在屏幕右边操作面板中的 “Cond ” 菜单栏“ ELECTRON BEAM ”选区， “Probe Current ”下拉列表中选择合适的探针电流， “Vacc”下拉 列表中选择合适的加速电压；在“ Image”菜单栏“ SCREEN MODE ”选区中选择使用“ Full （全屏）”、 “Dual （双屏）”或 “Small （常规小屏） ”观察方法； 在 “DETECTOR ”选区中选择使用 “SE”或 “BSE ” 探头；也可以单击操作界面左上角 Vacc 区域，出现“ Setup”后，在“ Optics ”菜单栏下， “Vacc ”下 拉列表中选择合适的加速电压。单击操作界面左上角“ ON ”键，加高压。 在“ Stage”菜单栏“ Z/TILT ”选区单击“ Analysis ” ”确定样品台的高度位置。 探针电流（ Probe Current ）与图像质量、工作距离大小和电镜观察效果关系如下： 探针电流设定 0 50 100 照射电流 (A) WD 短 WD 长 分辨率 分辨率高 分辨率低 二次电子信号 景深浅 景深深 图象粗糙度 样品倾斜范围大 样品倾斜范围小 荷电 Hit