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2021 年半导体前道测试设备市场规模分析 一、市场规模 集成电路是二十世纪人类科技史上最伟大的发明之一。以集成电路为代表产 品的半导体产业作为当今信息产业的基础和核心，在推动经济发展、社会进 步，提高人民生活水平以及保障国家安全等方面正发挥着日益重要的作用， 已成为当前国际科技和产业竞争的焦点，也是衡量一个国家和地区现代化程 度和综合国力的重要标志。从人们日常生活中使用的各种家用电器到医疗卫 生、工业农业、航天航海等各领域，都显示了半导体器件的巨大作用，2020 年全球半导体设备市场规模达 711 亿美元，较 2019 年增加了 113 亿美元， 同比增长 18.9% ，未来将继续保持增长，预计2022 年全球半导体设备市场 规模将达到 1013 亿美元。 从中国市场来看，2020 年中国大陆半导体设备市场规模达 187.2 亿美 元，较 2019 年增加了 52.70 亿美元，同比增长 39.2%。 近年来中国大陆半导体设备市场规模占全球半导体设备市场规模的比例逐 年攀升，2020 年中国大陆半导体设备市场规模占全球半导体设备市场规模的 26.33% ，较 2014 年的 11.73%增长了 14.60% ，半导体设备国产替代明显。 2020 年国内半导体设备市场规模达 187.2亿美元，2021 年约同比增长 10% ， 测算 2021 年国内半导体前道检测设备市场分别达到 24.7 亿美元，约为 160.6 亿元人民币，前道测试设备市场空间超百亿美元，未来采购需求有望大幅上 修。 二、市场格局 前道量测设备进一步细分为量测设备、缺陷检测设备以及过程控制软件，其 中缺陷检测设备占前道检测设备的 55% ，占比最大；量测设备占前道检测设 备的 34% ；过程控制软件占前道检测设备的11%。 进一步按产品细分，膜厚测量设备占比约 12% ；CD-SEM 占比约 12% ；套 刻误差测量占比约 9% ；宏观缺陷检测占比约6% ；有图形晶圆检测占比约 34% ；无图形晶圆检测占比约5% ；电子束检测占比约12%。 前道检测设备领域，KLA 占 52%的份额；AMAT 占 12%的份额；Hitachi 占 11%的份额；Nano 占 4%的份额；HemesMicrovison 占 3%的份额； Nava 占 2%的份额；场集中度较高，且基本被海外公司所垄断。 KLA 在检测设备领域市占率有绝对优势，在晶圆形貌检测、无图形晶圆检测、 有图形晶圆检测领域市占率分别达到 85%、78%、72% ，具有绝对垄断优势。 三、国内重点厂商介绍 国内量检测领域目前主要参与公司有上海精测、上海睿励、中科飞测、东方 晶圆等，目前正在积极推出其产品线，推动国产量测设备发展。精测与睿励 主要聚焦于膜厚及 OCD 量测，已获国内一线存储厂商重复订单，中科飞测 产品以形貌测试为主，已进入国内多家生产线，如中芯国际、长江存储、士 兰微等，东方晶源主要攻克 EBI和CD-SEM ，目前产品也已实现交付，填补 了中国空缺的关键领域。 国内半导体量检测领域主要参与企业业务布局 企 简介 业 公司现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三 大产品系列。公司产品线包括 EFIM系列膜厚测量机、EPROFILE系列膜 上 厚及OCD测量机、eView系列电子束检测设备，量测领域覆盖了适用范 海 围最广的膜厚及OCD测量设备，检测领域覆盖了电子束检测及缺陷复查 精 设备，产品覆盖领域较为齐全。其中，上海精测膜厚产品（含独立式膜厚 测 设备）已取得国内一线客户的批量重复订单，上半年公司实现首台 12寸 晶圆外观缺陷检测设备交付，首台独立式OCD设备与ReviewSEM出机。 公司产品深耕量测领域，主要产品包括TFX3000系列膜厚量测设备， TFX3000OCD光学关键尺寸（OCD）和形貌测量系统，FSD300自动宏 上 观缺陷检测系统及WSD200光学缺陷检测设备.今年上半年，公司新一代 海 光学膜厚量测设备（TFX4000i）正式交付国内重要客户，高精度光学缺 睿 陷检测设备（WSD200 ）也交付国内知名客户，目前睿励自主研发的12 励 英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片 生产线并在进行了 14纳米工艺验证，在3D存储芯