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第三章粒子束与材料相互作用第二轮 2021-11-26 Instrumental Analysis 2 2 第一节 电子束与材料的相互作用 一、散射 二、电子与固体作用产生的信号 三、电子激发产生的其它现象 2021-11-26 Instrumental Analysis 3 3 入射电子照射固体时，与固体中粒子的相互作用包括： （1）入射电子的散射； （2）入射电子对固体的激发； （3）受激发粒子在固体中的传播。 2021-11-26 Instrumental Analysis 4 4 一、散射 当一束聚焦电子沿一定方向射到固体上时，在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生改变，这种现象称为（电子）散射。 有散射弹性和非弹性散射之分。 原子中的原子核和核外电子对入射电子均有散射作用。 对比：物质对X射线的散射 2021-11-26 Instrumental Analysis 5 5 瞄准距离 散射角 核电荷数或原子序数 注意：电子经过原子核和电子时偏转方向不同! 入射方向与散射方向之间的夹角 电子衍射及成像的基础 电子散射示意图 与原子核作用 与核外电子作用 2021-11-26 Instrumental Analysis 6 6 1. 原子核对入射电子的散射 有弹性散射和非弹性散射。 散射损失的能量 散射角（2）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 非弹性散射损失的能量E转化为X射线，它们之间的关系是 式中，h是普朗克常数，c是光速，及分别是X射线的频率与波长。 此X射为连续X射线，没有特征性。 电子的初始能量 散射基元(原子核)的质量数(质子数与中子数之和) 半散射角 2021-11-26 Instrumental Analysis 7 当入射电子与原子中电子的作用成为主要过程时，由于作用粒子的质量相同，散射后入射电子的能量发生显著变化，这种过程称为非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子把部分能量传递给原子，引起原子内部结构的变化，产生各种激发现象。因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。电子激发是非电磁辐射激发的一种形式。 2021-11-26 Instrumental Analysis 8 8 2. 核外电子对入射电子的散射 原子中核外电子对入射电子的散射作用是一种非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子所损失的能量部分转变为热，部分使物质产生各种激发现象，如原子电离、自由载流子、二次电子、俄歇电子、特征X射线、特征能量损失电子、阴极发光、电子感生电导等。 因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。 2021-11-26 Instrumental Analysis 9 9 3. 散射截面 入射电子被原子核散射时，散射角2的大小与瞄准距离（电子入射方向与原子核的距离）rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关，其关系为 （3-2） rn2叫做弹性散射截面，用n表示。 当入射电子与核外电子作用时，散射角2为 （3-3） re2为核外电子的非弹性散射截面，用e表示。 2021-11-26 Instrumental Analysis 10 10 弹性散射截面为n 非弹性散射截面则为所有核外电子非弹性散射截面之和Ze，则 n/Ze=Z 因此，原子序数越高，产生弹性散射的比例就越大。 对一个原子序数为Z的孤立原子 2021-11-26 Instrumental Analysis 11 由于库伦相互作用，入射电子在固体中的散射比X射线强得多，同样固体对电子的“吸收”比X射线吸收快得多。随着激发次数的增多，入射电子的动能逐渐减小，最终被固体吸收（束缚）。 4. 电子吸收 2021-11-26 Instrumental Analysis 12 12 电子吸收：由于电子能量衰减而引起的强度（电子数）衰减。 不同于X射线的“真吸收”。 电子被吸收时所达到的深度称为最大穿入深度（R）。 入射电子在固体中传播时的能量损失曲线 （E0=1keV、3keV、5keV和8keV） （1）入射电子的能量越大，穿入深度越大。 （2）电子损失的能量开始迅速增加，然后迅速减小，直至损失殆尽。 2021-11-26 Instrumental Analysis 13 13 二、电子与固体作用产生的信号 1.电子与固体作用产生的信号 2.电子非弹性散射平均自由程和信息深度 3.电子能谱 2021