显微分析3扫描电子显微.pptxVIP

显 微 分 析;§4 扫描电子显微分析;1. SEM的发展史;2. 扫描电镜的优点;弹性散射和非弹性散射 （1）弹性散射。如果在散射过程中入射电子只改变方向，但其总动能基本上无变化，则这种散射称为弹性散射。弹性散射的电子符合布拉格定律，携带有晶体结构、对称性、取向和样品厚度等信息，在电子显微镜中用于分析材料的结构。 （2）非弹性散射。如果在散射过程中入射电子的方向和动能都发生改变，则这种散射称为非弹性散射。在非弹性散射情况下，入射电子会损失一部分能量，并伴有各种信息的产生。非弹性散射电子：损失了部分能量，方向也有微小变化。用于电子能量损失谱，提供成分和化学信息。也能用于特殊成像或衍射模式。 ;;电子与固体的作用区的影响因素;电子与固体作用产生的信号;SEM中的三种主要信号; ; ;真二次电子：直接击出的原子核外电子 俄歇电子：激发态原子退回基态时产生的电子 ;二次电子; * 二次电子的特点; 包括三部分 ;其他信号;其他信号;各种信号的信息深度和广度;4. 扫描电镜的工作原理;;JSM-6301F场发射枪扫描电镜; ;5.1 电子光学系统; 为获得较高的信号强度和扫描像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。电子束斑的亮度和直径与电子枪的类型有关。;电子枪; 扫描电子显微镜通常使用两