MEMS加速度传感器地原理与构造.doc

MEMS加快度传感器的地原理与结构 MEMS加快度传感器的地原理与结构 PAGE / NUMPAGES MEMS加快度传感器的地原理与结构 微系统设计与应用 加快度传感器的原理与结构 班 级： 2012 机自实验班 指导教师： xxx 小构成员： xxx 大学机械工程学院 二 OO五年十一月 纲要 摘 要 跟着硅微机械加工技术 (MEMS)的迅猛发展 , 各样鉴于 MEMS技术的器件也应运 而生 , 目前已经获取宽泛应用的就有压力传感器、 加快度传感器、光开关等等 , 它们 有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、靠谱性高等特色 , 并且因为其加工工艺一 定程度上与传统的集成电路工艺兼容 , 易于实现数字化、智能化以及批量生产 , 因 而从问世起就惹起了宽泛关注 , 并且在汽车、医药、导航和控制、生化剖析、工业 检测等方面获取了较为快速的应用。此中加快度传感器就是宽泛应用的例子之一。 加快度传感器的原理随其应用而不一样，有压阻式，电容式，压电式，谐振式等。本 文着手于不一样加快度传感器的原理、 制作工艺及应用睁开， 能够使之更为全面认识 加快度传感器。 重点词： 加快度传感器，压阻式，电容式，原理，结构 I 目录 目 录 1 压阻式加快度传感器 2 1.1 压阻式加快度传感器的构成 2 1.2 压阻式加快度传感器的原理 2 敏感原理 3 压阻系数 4 悬臂梁剖析 5 1.3 MEMS 压阻式加快度传感器制造工艺 6 结构部分 6 硅帽部分 8 键合、划片 9 2 电容式加快度传感器 9 2.1 电容式加快度传感器原理 9 电容器加快度传感器力学模型 10 电容式加快度传感器数学模型 11 2.2 电容式加快度传感器的结构 12 机械结构布局的选择与设计 12 资料的选择 14 工艺的选择 15 详细结构及加工工艺 16 3 其余加快度传感器 18 3.1 光波导加快度计 18 3.2 微谐振式加快度计 18 3.3 热对流加快度计 19 3.4 压电式加快度计 19 4 加快度传感器的应用 20 4.1 原理 20 4.2 功能 20 参 考 文 献 22 压阻式加快度传感器 压阻式加快度传感器 压阻式器件是最早微型化和商业化的一类加快度传感器。这种加快度传感器 的悬臂梁上制作有压敏电阻，当惯性质量块发生位移时 : 会惹起悬臂梁的伸长或压 缩，改变梁上的应力散布，从而影响压敏电阻的阻值 . 压阻电阻多位于应力变化最 显然的部位。这样，经过两个或四个压敏电阻形成的电桥即可实现加快度的丈量。 其特色在于压阻式加快度传感器低频信号好、 可丈量直流信号、 输入阻抗低、且工 作温度范围宽，同时它的后办理电路简单、体积小、质量轻，所以在汽车、测振、 航天、航空、航船等领域有宽泛的应用。 1.1 压阻式加快度传感器的构成 MEMS压阻式加快度传感器的敏感元件由弹性梁、 质量块、固定框构成。压阻式 加快度传感器实质上是一个力传感器，他是利用用丈量固定质量块在遇到加快度 作用时产生的力 F 来测得加快度 a 的。在目前研究尺度内，能够以为其基来源理 仍遵照牛顿第二定律。也就是说当有加快度 a 作用于传感器时，传感器的惯性质 量块便会产生一个惯性力 :F=ma,此惯性力 F 作用于传感器的弹性梁上，便会产生 一个正比于 F 的应变。，此时弹性梁上的压敏电阻也会随之产生一个变化量△ R， 由压敏电阻构成的惠斯通电桥输出一个与△ R 成正比的电压信号 V。 1.2 压阻式加快度传感器的原理 本系统的信号检测电路采纳压阻全桥来作为信号检测电路。 电桥采纳恒压源供电，桥压为 U e 。设 R2 、 R4 为正应变电阻， R1 、 R3 为负应变 电阻，则电桥的输出表达式为 : 2 压阻式加快度传感器 U SC R2 R4 R1R3 U e R1 R4 R2 R3 我们在电阻布局设计、 制造工艺都保证压敏电阻的一致性， 所以能够以为有的压敏电阻和压敏电阻的变化量都是相等的，即 : R1 R2 R3 R4 R R1 R2 R3 R4 R 则电桥输出的表达式变成 : U SC R U e R 敏感原理 本论文采纳的是压阻式信号检测原理，其核心是半导体资料的压阻效应 . 压阻效应是指当资料遇到外加机械应力时， 资料的体电阻率发生变化的资料性能。 晶体结构的形变损坏了能带结构， 从而改变了电子迁徙率和载流子密度， 使资料的电阻率或电导发生变化。一根金属电阻丝，在其未受力时，原始电阻值为： L R S 式中， 电阻丝的电阻率 ; L 电阻丝的长度 ; S 电阻丝的截面积。 当电阻丝遇到拉力 F 作用时，将伸长 L ，横截面积相应减少 S , 电阻率则因 晶格发生变形