光外差检测系统.pptVIP

1、干涉测量技术 应用光的干涉效应进行测量的方法称为干涉测量技术。 干涉测量系统主要由光源、干涉系统、信号接收系统和信号处理系统组成。 优点：测量精度高（以波长为单位） 6.4 光外差探测系统举例 干涉测量基本原理：改变干涉仪中传输光的光程而引起对光的相位调制，从而表现为光强的调制。测量干涉条纹的变化即可得到被测参量的信息。 干涉条纹是由于干涉场上光程差相同的场点的轨迹形成。 可进行长度、角度、平面度、折射率、气体或液体含量、光学元件面形、光学系统像差、光学材料内部缺陷等几何量和物理量的测量。 1、激光光源： He-Ne气体激光器，频宽达103Hz， 相干长度可达300km 2、干涉系统：迈克尔逊干涉原理， 位移---测量臂； 3、光电显微镜：给出起始位置。实现对对测长度或位移的精密瞄准，使干涉仪的干涉信号处理部分和被测量之间实现同步。 4、干涉信号处理部分：光电控制、信号放大、判向、细分及可逆计数和显示记录等。 6.4 光外差检测系统举例 6.4.1 激光干涉测长仪 如图，主要有几部分组成： 测量光束2和参考光束1相互叠加干涉形成干涉信号。其明暗变化次数直接对应于测量镜的位移，可表示为： 1、激光器；2、透镜；3、小孔光阑；4、透镜；5、反射镜；6、反射棱镜；7、位相板；8、角锥反射棱镜；9、分束镜；10、角锥反射棱镜；11、透镜；12、光阑；13、光电检测器；14、透镜；1