等离子体鞘层.docVIP

PAGE PAGE # 第九章等离子体鞘层理论 在仃界的等离了体边缘〃在着约束帯电粒子的电势。这能使到达器樂的正电流和负电流 平衡。在通常情况卜?，等离子体是由数杲相等的正离子和电子组成，貝中电子比离子更易移 动得多，因而等离子体相对器业呈正电性。在等离子体和坚Z间的非电中性区域称作梢层。 如果在两个电极么间加上电压，电流平衡得到维持时，每个电极可以分别吸引电流，这样在 阴极附近形成一个非电中性区域，通常称为阴极鶴层.在弱电离等离子体中维持等离子体的 能彊通常來自j:被加热的电子，离子同背景(体几乎达到平衡。电子温度仃几电子伏特，而 离子是冷的。在这种情况卜，荊层电势能加速单能离子，而电子密度由j:波尔兹曼因子而减 小了。为了维持离子流的连续，在电屮性的等离子体和非电屮性的鶴层—定存在一个过 渡层或称预箭层，它将导致在荊层边界处离子的速度达到玻姆速度。为射频电压加到电极上 时，能形成一个随时间变化帶层，帯层边界能随时间振荡。对j:负高斥脉冲形成的阳层，在 电压脉冲施加的瞬间，电场将电子从輔层中驱逐，留卜?一个离子密度均匀的鶴泾，随后离子 不断注入靶中，莉层边界向等离子体中扩展，这将在“等离子体侵入离子注入”中发生。如 果中性气体是负电性的，以至J-电子附着是显著的，负电荷分成了电子和负离子。如果负离 了比例很人，负电荷运动能被人人减少，将改变箭层边界条件。 9.1无碰撞鞘层 9.1.1鞘层基本方程 使用如卜假设：(1)电子遵守温度7；的麦克斯韦分布：(2)离子在梢层中无碰撞运动, 并且是冷离子(￡=0)：(3)在等离子￥ ‘分界面(在x = 0准中性和非中性区域Z间的分 界而)处，乞(0)=耳(0)。像图9.1展示的那样，定义在x = 0处电势①为零，那里的离 子貝有速度冷。由离子能磺守恒(无碰撞)给出 = _eC)(x) (9.1) 2 离子流的连续性方程(在稍层中无电离)为： nXx)u(x) = nisiis (9.2) 图9.1 这里％是荊层边界处的离子密度。从(9.1)式中解出并代入(9.2 )式，得到 (93) 电了密度宙玻尔兹曼关系给出 代(x) = E, exp(2(x)/7 代(x) = E, exp(2(x)/7；) (9.4) PAGE PAGE # PAGE PAGE # 设在韩层边界处有―=%=〃「并把耳代代入到泊松方程 得到(9.5)(9.6) 得到 (9.5) (9.6) PAGE PAGE # 这里=是初始离子能届。方程（9.6）是决定勒层电势及离子和电子密度的垄本的 非线性方程。然而正像我们将要在卜?一部分看到的那样它只在足够人的匕卜冇稳定的解,而 匕在准屮性的预祐层区域获紂。 9.1.2玻姆鞘层判据 用芋乘以（9.6）再枳分到x就可得到第一步积分 ax J。dx dx dx J。dx dx dx J。dx (9.7) PAGE PAGE # PAGE PAGE # 消去dx再对①积分.我们得到 TOC \o 1-5 \h \z d ①11 fd）- —=— exp（—）-Te + 2es（1 ）2 _2q （9.8） 2 dx 砒 Te 5 」 这里我们已经在x = 0处，令①=0和 —=0o方程（9.8）可以由数值积分得到①（Q。 ax 显然，方程（9.8）仃解耍求英右边应该是正的。实际上，这意味着在鶴层区域，电子密度 定总是小J：离了密度。由J：我们只期望这将是对应「小。值的问题，用泰勒展开式把（9.8） 式的右边展开到二阶项，从而得到卜而的不等式 (9.9)1 1 U (9.9) 2 7； 4 耳 由（9.9）式满足￡sT,/2.代入得到 (9.10) 这个结果即是众所周知的玻姆判据 为了使离子得到定向速度匕，在靠近硝层边界的等离 了体区域，-定仃-个仃限的电场加速离了，这个区域耍比輔层宽的多，叫做预勒层（见图 9.1 )? 离子穿越预韩层加速至玻姆速度，则仃 (9.11) 这里①“是相対「韩层一预閒层边界处的等离子体电势。由（9.10）式.代入玻姆速度.得 (9.12) 2e 这在图9.1中已划出。鞘层边界和等离子体内部的密度比值町以从玻尔兹曼关系屮得出 -=% exp(Y -=% exp(Y ①卩亿)=0.6b/o (9.13) PAGE PAGE # PAGE PAGE # 这里卩是等离子体的密度。 9.1.3悬浮壁的鞘层电势 耍决定等离了体和悬浮壁Z间的箭层电位降是I?分简单的。假设离子流穿越箭层不变， 在壁处离子流 r, = nsuB (9.14) 而电子流 「，=-”门严几 (9.15) 这里亍=(87；/加町是平均电子速度，而①“，是器壁的电位降。让离子流等J：电子流，并 代入