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激光光栅多普勒横向位移遥测传感器 [摘要]介绍了一种光栅横向位移遥测传感器，被测位移和光束方向垂直。该系统利用激光光栅的多普勒效应进行测量，采用差动光路结构。理论计算和实验表明，此系统测量范围大、信号质量好、分辨力和测量精度高，并具有很大景深范围，可应用于具体生产环境中的位移遥测。 关键词：光栅多普勒效应景深横向位移测量遥测 [Abstract] A transducer for lateral romote displacement measurement is introduced in this paper. The direction of movement measured is allowed to be perpendicular to the bisector of laser beams. The measuring peinciple of this system is based on grating Dopper effect. A differential optiacal structure is adopted. The results of experiment and theoretical analysis show that this system features wide measurement range, high quality signals with high resolution and accuracy, and wide focal depth range. All of these make it very useful in the practice. Keywords: grating Doppler effect　focal depth　lateral displacement measurement　romote measurement 1　概述 　　近年来，国内外许多科研工作者致力于把激光测速技术用于位移测量。如西德物理技术研究院研制成功一种不接触在线测量长度的方法[1]，在1mm长度可给出818个脉冲（运动方向与光束夹角为75°）当夹角变小时脉冲数减少，夹角为零时不能工作，故由计数当量不稳定而造成使用不太方便。中国厦门华侨电子企业研究所用多普勒原理进行长度测量，测量范围为2mm～10m,最小显示值为1mm,精度为0.1%[2]。以上方法都是利用散射光进行不接触测量，被测运动和激光束接近于垂直，由于这一特性有别于干涉仪和激光测振仪，所以称之为“横向传感器”。对于一般的散射体，由于表面的散射光信号弱，信噪比低，以及由散射体表面纹理因素引起的信号波动，有时会出现信号淹没或信号不连续现象，影响测量精度。因此目前所能达到的分辨力都在10m以上，影响了这种技术的推广应用，其根本原因是来自激光器、调制器、外界环境所带来的干扰和噪声。 　　本文介绍了一种光栅横向位移遥测传感器。它是利用衍射光栅的多普勒效应进行测量，产生的多普勒信号与光波长无关，只决定于光栅常数，信号强、信噪比高、抗干扰能力强，测量系统简化。另外由于光栅的周期性结构，产生的差拍信号是连续的正弦波，减轻了信号处理系统的负担，从而获得高分辨力，易于实现高精度位移遥测。由于信噪比的改善，实现了相位测量，检测距离2～50m,空间分辨力0.4m,比通常的多普勒技术提高了10～100倍。在差动光学系统中引入声光调制器进行分光和频移以实现辨向。 2　测量原理 　　多普勒效应是指波源、接受器、传播介质或中间反射器之间的相对运动所引起的波频率变化，其公式近似为： (1) 式中f0—光源发出的光频率； 　　f—接收器接收到的光频率； 　　V—光源与接收器之间的相对运动速度，相互移近时取‘+’，远离时取‘-’； 　　u—介质中的光速； 　　—光源与接收器的连线方向与速度方向的夹角。 　　若以光栅作为运动体，如图1,则各衍射主极大在角方向的频移为： (2) 图1　光栅多普勒效应 式中i—平行光入射角； 　　—衍射角； 　　V—光栅运动速度； 　　—光波长， 　　将光栅方程d(sini±sin)=k代入上式，得到光栅多普勒公式： (3) 式中k—衍射级次； 　　d—光栅常数； 　　fk—第k级衍射主极大所对应的频移值。 　　由公式（3）可以看出，当光栅运动时，其衍射光束的多普勒频移与入射角、入射光波长无关，只与衍射级次、光栅运动速度以及栅距有关。其中零级衍射光无频移，正负一级衍射光频移分别为f1=V/d,f-1=-V/d。 　　对于反射光栅，具有如下性质： 　　①零级衍射光在反射方向，且多普勒频移为零，见图2(a); 　　②光线垂直入射时，±1级衍射光分居法线两侧，且与法线夹角相同，均为,见图2