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ASM设备中几种常见马达介绍 陈廷劲 2014.10.06 2021-12-5 1 前言：对马达 的认识 马达的称呼： 马达，电机，Motor 马达的作用： 运动的执行机构，把电能转化为机械能。 马达的分类： ？？？ 2021-12-5 2 目录 一）简要说明； 二）步进马达； 三）一般伺服马达； 四）线性伺服马达； 五）DC马达； 六）AD8912机台马达概况。 2021-12-5 3 一.简要说明 ASM设备中常见马达分类： COB ASM主要设备： D B: AD898,AD8912,ISLinDA,COE139,IBE139; WB: Eagle60,Eagle Xtreme,LBE139,LTE139; H A: AD868,868LA2,868LA3。 马达分类 性能特点 实 际 应 用 步进马达 作一般电机用 Elevator YZ 马达 一般伺服马达 精度非常高 Bond Y, Epoxy Writer XY 马达 线性伺服马达 精度相当高 Workholder Index, Bond Optic Y 马达 DC马达 效率高，易控制，类似于电磁阀 Expander DC, Elevator Magazine Clamp 马达 2021-12-5 4 二.步进马达 2.1 步进马达(Stepper Motor)机台上的应用: Sanyo Denki Stepping Motor是ASM设备中常用的步进马达 AD8912 Stepping Motors Output Elevator Y，Z Output Convey Input Elevator Y，Z Input Convey Wafer Table Theta Track Width Down Set Bond Anvil Dispense Anvil Dispense Window Clamp Bond Window Clamp 步进马达作一般电机用，精度一般 2021-12-5 5 二.步进马达 2.2 步进马达(Stepper Motor)精度控制： 作一般电机用,由Sensor或继电器控制位移 若对位移精度有一定要求时,由Encoder控制 不安装Encoder 安装Encoder Elevator Input Kicker Motor Workholder Down Set Motor 2021-12-5 6 三.一般伺服马达 3.1 一般伺服马达(Servo Motor)在设备中应用： Tamagawa Denki Servo Motor是ASM设备中常用的一般伺服马达 AD8912 Bondhead Y,Z Epoxy Writer X,Y,Z Ejector Pin AD868 LA,LA2 Bondhead X,Z Pickhead X,Z 一般伺服马达： 1，精度非常高； 2，马达自带Encoder。 2021-12-5 7 三.一般伺服马达 3.2 一般伺服马达(Servo Motor)精度控制： 一般伺服马达自带Encoder，与马达形成闭环系统，精度可达微米级。 2021-12-5 8 四.线性伺服马达 4.1 线性伺服马达(Line Motor)在设备中的应用： 线性伺服马达在ASM设备中应用广泛。 DA WB HA Workholder Indexer Bond Optic Y Wafer Table X,Y Bond X,Y Indexer Dispense X,Y Bond Optic Y Bondhead Y 2021-12-5 9 四.线性伺服马达 4.2 线性伺服马达(Line Motor)基本结构： 线性伺服马达是一个组合体，由几大块组成。 滑轨 LM Guide 磁体 Magnet 编码器 LM Encoder 线圈 LM Coil 光栅尺 Scale 2021-12-5 10 四.线性伺服马达 4.3 线性伺服马达(Line Motor)精度： 以下DB AD898线性伺服马达一些基本情况。 2021-12-5 11 五.DC马达 5.