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纳米测量和三维测量中测量不确定度的确定 概述 在精密测量中，对于正确评价测量不确定度的重要性，人们已经取得了广泛的共识。然而，作为要考虑溯源性的一方，产业界对于一般性测量评价方面的认识有所提高，而对于溯源性及不确定度的争议仍在进行中。在长度和形状测量方面，使用一般测量仪器进行长度测量时，其不确定度需要考虑以下因素（见表1）：测量仪器具有的不确定度，校准后测量仪器的不确定度（包括作为校准基准的标准件），测量过程的不确定度，环境的影响（尤其是温度的影响）等。对一般长度测量的不确定度进行评价是可能的，而且比较简单。 表1 一般长度测量时不确定度的确定 不确定度的主要因素－确定方法 ①测量仪器：重复性、标尺误差等－JIS、制造商的技术规范 ②校准：基准/标准－校准证书；重复性－实验 ③测量：环境：温度等－实验、理论分析；重复性－实验 本文针对纳米测量和三维测量时不确定度的评价进行阐述。在进行纳米测量时，如按表1对测量不确定度进行评价，作为校准基准的标准件就成为一个重要问题。因此在评价纳米测量的不确定度时，需重点阐述纳米标准件的建立和确定。而在进行三维测量时，测量步骤较复杂，必须考虑多种因素，取决于测量策略的不确定度评价十分重要。在考虑测量策略的情况下来确定三维测量的不确定度，关于这方面，本文将阐明有关ISO标准化的动向。 纳米测量不确