原创力文档- 8
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- 2021-12-06 发布于福建
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电池片生产主要过程介绍：
;电池片生产过程检验主要相关设备：;主要分为以下几个控制点：
1.前期准备工作检查
2.制绒清洗后；
3.扩散后；
4.等离子刻蚀后；
5.去磷硅玻璃清洗后；
6.PECVD后；
7.丝网烧结后；
8.电池片性能测试分档后。;前期准备工作检查：
设备开机检查，填写《巡检记录单》；
工艺参数监控：设备各参数达到工艺要求后进行生产。
;各工序关键工艺参数：
制绒清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液浓度，溶液温度等。
扩散：扩散温度，气体流量等。
等离子刻蚀：射频功率，气体流量等。
;去磷硅玻璃：HF溶液浓度等。
PECVD：气体流量，微波源功率，沉积压力，工艺温度等。
丝网烧结：印刷压力，印刷速度，印刷网板间距，印刷方式，烧结各加热区温度等。
;制绒清洗后：
制绒后硅片外观：硅片表面制绒均匀，无点状亮点
硅片称重：清洗前后重量差???0.6～0.7g
;扩散后：
方块电阻：测量范围在40±5Ω/□
方阻均匀性：均匀性误差不大于±5%
;等离子刻蚀后：
边缘电阻测量：测量范围在30±10kΩ
刻蚀痕迹（目测）
;去磷硅玻璃清洗后：
电池片外观：扩散面无明显发暗
扩散面疏水性（目测）
;PECVD后：
工艺后外观检测：硅片镀膜面呈均匀蓝色（目测）
氮化硅膜的厚度、反射率、折射率
片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性：不大于±5%;丝网烧结后：
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