第二章电子显微分析.pptVIP

第二章 电子显微分析 ; ;案 例 1;案 例 2;案 例 3;问题2-1; ;电子显微分析的应用;电子显微分析的特点;电子光学是研究带电粒子（电子、离子）在电场和磁场中运动，特别是在电场和磁场中偏转、聚焦和成像规律的一门科学。 本课程所涉及的电子光学仅局限于电子显微镜这类仪器中电子的运动规律——研究各种形式对称的电、磁场和电子运动轨迹。; ;电镜中电子光学系统的附加限制;电子光学与几何光学的相似;什么是显微镜的分辨本领（分辨能力、分辨率），它和那些因素有什么关系？;一??光学显微镜的局限性;电子的波性是什么？电子波长由什么决定？;二、电子的波性及波长;2. 电子波长; ;问题2-3;三、电子在电磁场中的运动和电磁透镜; 2. 静电透镜; ; ; 3.电子在磁场中的运动; ; 4.磁透镜; ; ; ; ; ; 5.磁透镜与光学透镜的比较;② 磁透镜是可变焦距和可变倍率透镜;四、电磁透镜的像差和理论分辨本领; ;1.球 差 ;（2-21）;2.色 差; ;3. 轴上像散; ;4.畸 变;5. 电磁透镜的分辨本领;五、电磁透镜的场深和焦深; ;2.焦 深; ; 小 结;1.作用的物理过程; 聚焦电子束沿一定方向入射试样时, 在原子库仑 电场作用下，改变运动方向——电子散射。 弹性散射——只改变方向，不改变能量(原子核对电子)。 非弹性散射——既改变方向，也改变能量。;1. 原子核对电子的弹性散射; ;2. 原子核对电子的非弹性散射;3.核外电子对入射电子的非弹性散射;（1）单电子激发——二次电子 入射电子与核外电子碰撞，将核外电子激发到空能级或脱离原子核成为二次电子（此过程称为电离）。 产生信号：二次电子。;（2）等离子激发：; ;（3）声子激发; ;当高能量的入射电子照射到半导体，绝缘体和磷光体上时，不仅可将内层电子激发产生电离，还可将满带中的价电子激发到导带中去，在满带和导带内产生大量空穴和电子等自由载流子。 这些自由载流子进一步产生阴极荧光、电子束电导和电子生伏特效应。; ; ;背散射电子——散射角大于90°； (1)弹性背散射电子； (2)非弹性背散射电子：单次、多次。 二次电子——能量低于50ev的电子； 俄歇电子； 特征能量损失电子； 阴极荧光。; ; 透射电子;吸收电子——入射电子经多次非弹性散射后，能量消失殆尽，不再产生其他效应，被试样吸收——吸收电子。 连接纳安表——测试样吸收电子产生的吸收电流； 试样厚度越大，密度越大（原子序数Z越大），吸收电子越多，吸收电流越大； 应用：分析原子序数不同的元素的定性分布。 ; ;1.相互作用体积 当电子射入固体试样后，受到原子的弹性和非弹性散射，入射电子经过多达百次以上的散射后完全失掉方向性，也就是向各个方向散射的几率相等，一般称为扩散或漫散射。由于存在这种扩散过程，电子与物质的相互作用不限于电子入射方向，而是有一定的体积范围。此体范围称为相互作用体积。 电子与固体物质的相互作用体积可通过蒙特一卡洛（Monte－Carlo）电子弹道模拟技术显示。; ; 2.各种物理信号产生的深度和广度;物理信号产生的深度;物理信号产生的广度与分辨率; 小 结;透射电子显微镜； 透射电镜样品制备； 电子衍射； 透射电子显微像； 高压电子显微镜； 透射电子显微分析的应用。;一、透射电子显微镜（TEM）;1.应用：微区形貌、显微结构、 晶体结构、物相组成分析。 2.特点： 高分辨率： 点分辨率：r=0.23～0.25nm 线分辨率：r=0.104～0.14nm 高放大倍数：100倍～80万倍，连续可调。 电子衍射：结构分析。;一、工作原理：;核心部分;光学成像系统 ——镜筒; ;1.照明部分; ;2.成像放大系统; ; ; ;3.观察记录部分; 4.样品台; ;三、透射电镜的主要性能指标;一、要 求: 厚度：100～200nm，甚至几十纳米； 含水、其它易挥发物(酸碱有害物质)预先处理。 化学性质稳定、并有一定的机械强度。 非常清洁。;二、制备方法; ;2.薄膜样品制备;离子轰击;离子轰击;3.复型样品的制备; ;三、电子衍射 ;电子衍射与X射线衍射的区别及特点;1.电子衍射几何 ; ;电子衍射基本公式; ; ;4.电子衍射物相分析;四、透射电子显微像及衬度;(一) 复型膜电子显微像;1.质厚衬度; ; ; ; ;3.复型像衬度改善—重金属投影;4.物镜光阑的作用; 由于物镜光阑阻挡了散射角大的电子，改善了衬度，因此又称为衬度光阑。 在一定加速电压下，减小物镜光阑孔径（减小α物）衬度增加； 在一定物镜光阑孔径下，随着