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三种材料多弧离子镀TiN涂层性能比较 摘　要：硬质TiN薄膜广泛用作高速钢刀具的耐磨层，较少用于其他钢种。本文选择W6Mo5Cr4V2、3Cr2W8V和GCr15三种材料用多弧离子设备沉积TiN涂层，测定了涂层的表面硬度、涂层与基体的结合力、TiN涂层的结构及过渡层硬度分布。试验结果证明：只有选择在沉积温度下保持高的硬度及含有较多合金元素尤其是V元素的基体材料，才能获得良好性能的TiN涂层。 关键词：TiN涂层　多弧离子镀　结合力 Abstract：TiN coatings deposited onto high speed steel(HHS)by physical vapor deposition have successfully been used in metal cutting applications for a number of years.But its use to other materials is studied fewly.The present paper sudied hardnes and adhesion of three materials.The show that if want to acquere good property of TiN coating we must select material that has high hardness on the temperature when TiN coating deposited and that contains more alloy elements especially V. 1　前言 　　多弧离子镀TiN涂层具有摩擦系数小、硬度高、耐磨、耐蚀、耐氧化等一系列优点，并广泛用于高速钢刀具，但在其他材料方面的应用较少。本文选择W6Mo5Cr4V2、3Cr2W8V和GCr15三种材料用多弧离子镀设备在其上沉积TiN涂层，通过试验测定TiN涂层的表面硬度、过渡层硬度、TiN涂层的择优取向以及TiN涂层与基体的结合力，揭示了用多弧离子镀设备沉积TiN涂层时选择基体材料的原则。 2　试验方法 2.1　试验用基体材料的化学成分 　　试验用基体材料的化学成分见表1。 表1　试验用基体材料的化学成分 钢　号化　　学　　成　　分　%CSiMnCrWMoVPSW6Mo5Cr4V20.820.40.44.106.354.802.100.0250.033Cr2W8V0.350.340.42.408.30　0.350.030.03GCr150.990.300.351.35　　　0.0250.02 2.2　实验用基体材料的热处理工艺和硬度 　　实验采用W6Mo5Cr4V2、3Cr2W8V、GCr15三种材料。试样尺寸为20mm×8mm。三种材料经热处理后硬度分别为64HRC、50HRC、61HRC。三种材料的热处理工艺见表2。 表2　三种材料的热处理工艺 材　料淬火温度(℃)回火温度(℃)回火时间(h)回火次数W6Mo5Cr4V212305601.533Cr2W852GCr1584018031 2.3　多弧离子镀TiN涂层工艺 　　多弧离子镀是在美国VAC-TEC公司制造的ATC-500多弧离子镀设备上进行的。 　　(1)镀前清洗工艺：浸入粗清洗液，超声激励→氟利昂蒸汽浴→氟利昂浸浴→超声SS-1浸浴-超声自来水，去离子水漂洗→氟利昂浸浴，脱水-氟利昂浸浴，脱去残余活性剂。 　　(2)涂层处理工艺：抽真空→系统加热(充入氩气，辉光放电)→离子轰击→充入氨气，涂层(工作电流100A)-降温出炉。 2.4　涂层性能测试 　　对涂覆后的TiN涂层进行硬度测定、涂层结合力测试及X射线衍射分析。 3　试验结果及讨论 3.1　涂层的显微硬度、结合力及择优取向 　　TiN涂层的显微硬度在国产71型显微硬度计上测定，由于涂层较薄(2～3μm)，根据资料［1］确定了显微硬度测试载荷选用0.25N，作用时间为15s。硬度测试为5点的有效平均值。结果见表3。 表3　三种材料TiN涂层的性能比较 材　　料表面硬度(HV0.025)结合力(N)W6Mo5Cr4r2W8V200040GC　X射线衍射分析在D/MAX-RB转靶X射线衍射仪上进行。TiN在(111)晶面有择优取向，其峰值由大到小排列顺序为W6Mo5Cr4V2、3Cr2W8V和GCr15。 　　从表3可知，三种材料TiN涂层硬度相近。因为TiN涂层本身具有高硬度，只要测试载荷 不大，测试力不作用到基体上，则测量结果显示的是TiN涂层本身的硬度。因此三种材料对TiN涂层的硬度影响不大。而三种材料TiN(111)的择优取向存在着差异。文献［2］介绍