微机械及其制造加工技术.docVIP

微机械及其制造加工技术 介绍了微机械的概念及其特点，着重介绍了目前微机械的加工技术。1 引言微机械是80年代后期发展起来的一门新兴学科，随着大规模集成电路中微细加工技术和超精密加工技术的发展，微机械近几年来发展很快，部分已进入实用和商品化阶段．微机械体积小、耗能低，能方便地进行精细操作，其主要应用领域有医疗、生物工程、信息、航空航天、半导体工业、军事、汽车领域等，它已给国民经济、人民生活和国防、军事等带来了深远的影响，被列为21世纪关键技术之首，因此受到世界各国政府的高度重视，例如美国每年投资800万～1500万美元、德国每年投资7000万美元进行微机械的研究，而日本则准备在10 年内投资2亿美元于微机械领域，我国也有许多单位开展了该领域的研究工作。2 微机械及其特征微机械在美国被称为微电子机械系统(Micro Electro Machanical System.，简称MEMS) ；在日本被称为微机器(MicroMachnie)；在欧洲则被称为微系统(Microsystem)。微机械具有以下几个基本特点:体积小、精度高、重量轻。其体积可达亚微米以下，尺寸精度达纳米级，重量可至纳克。已经制出了直径细如发丝的齿轮、能开动的3mm大小的汽车和花生米大的飞机。最近有资料表明，科学家们已能在5平方毫米内放置1000台微型发动机。性能稳定、可靠性高。由于微机械的体积小，几乎不受热膨胀、噪声、挠