SECS标准的半导体封装设备串口通信实现.docxVIP

PAGE 1 PAGE 1 SECS标准的半导体封装设备串口通信实现  SECS标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和掌握设备之间的通讯。介绍了SECS标准的构成，提出了使用SECS标准接口解决半导体封装设备通信的问题，使全部设备全部都通过使用SECS标准接口连接到单元掌握器及更高级别的MES和工厂计划信息系统。使设备能快速地整合在CIM的管理系统中。系统实现了基于SECS标准的串口通信，并给出了基于SECS协议的串口通信的实例。  0引言  在高度自动化的半导体制造厂中，CIM(ComputerIntegratedManufacturing)统一管理各设备的生产流程，并随时监控设备过程的状态，以削减过程失误进而降低成本及提升产品的质量。但随着过程的不同，各设备有着不同特性的差异且各制造商所供应的设备也不尽相同，因此增加CIM自动化管理的困难与复杂程度。软件集成自动化存在的主要问题是在不同的设备供应商之间没有标准的通讯协议。设备供应商不向半导体生产商开放通讯协议及接口软件，这使得半导体生产商不得不建立他们自己的软件“连接”，导致了项目费用的巨大增加。  SEMI(SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational)制定了半导体设备通讯标准接口SECS(SemiconductorEquipmentCommunicationStandard)，让CIM与设备间有通用的通讯标准接口，设备制造商只要供应符合通讯标准规范的设备，便可快速地整合在CIM的管理系统，不但可缩短设备开发的时间及成本，并可增加设备装机的效率达到快速量产，进而提升产能输出。  1SECS标准简介  SECS标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和掌握设备之间的通讯，是半导体生产流程中最基本的标准。SECS协议为点对点协议，它包括2个部分SECS-Ⅰ和SECS-Ⅱ。SECS-Ⅰ为基于RS232的传输层，定义了设备和主机之间的MESSAGE交互的通信接口，大致相当于ISO/OSI模型的下面5层。主要包括有块传输协议，MESSAGE接收算法和节点传输算法；SECS-Ⅱ则把SECS-Ⅰ传输的二进制串翻译成形象直观的格式表示出来，SECS-Ⅱ规范传输资料的标准结构和显示内容，便利使用者查看数据内容。图1简洁表示了SECS标准的典型应用，图中节点C代表主机，节点A和B表示设备，这些节点仅仅是组成整个网络的一部分。根据SECS标准的定义，每一个节点都能够依据消息头中的设备号位打算向哪一个节点传递消息，依据回答位打算掌握消息的传递方向是沿着树向下还是向上。在图1中，节点A掌握着1A、2A、3A3个子节点，可以依据它们的不同要求向节点C发送恳求或者从节点C接收指令。SECSLine则表示了在2个节点之间根据SECS标准的电气接口。  图1SECS标准的应用示意图  本文结合某半导体厂的全自动化后段生产线描述了基于SECS标准的串口通讯的实现。  2系统的硬件组成  整个掌握系统由生产线上的生产设备和车间的掌握系统组成，其硬件组成如图2所示。包括3个部分，设备和单元掌握器之间通过SECS-Ⅰ连接，其他通过局域网相连。处于最下方的是生产流水线，单元掌握器与线上每道工序相应的掌握软件负责掌握流水线的生产，并将生产数据通过单元掌握器上报给车间的MES系统，接收车间管理人员的生产指令。中间是MES系统，主要负责监控和掌握流水线的生产状况、存储重要的生产数据、报表等，同时给操作管理人员供应一套管理系统来协调整个车间的生产。最上层是工厂生产计划管理系统，用来给更高层的管理人员供应管理上的便利。  图2系统结构组成框图   SECS标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和掌握设备之间的通讯。介绍了SECS标准的构成，提出了使用SECS标准接口解决半导体封装设备通信的问题，使全部设备全部都通过使用SECS标准接口连接到单元掌握器及更高级别的MES和工厂计划信息系统。使设备能快速地整合在CIM的管理系统中。系统实现了基于SECS标准的串口通信，并给出了基于SECS协议的串口通信的实例。  0引言  在高度自动化的半导体制造厂中，CIM(ComputerIntegratedManufacturing)统一管理各设备的生产流程，并随时监控设备过程的状态，以削减过程失误进而降低成本及提升产品的质量。但随着过程的不同，各设备有着不同特性的差异且各制造商所供应的设备也不尽相同，因此增加CIM自动化管理的困难与复杂程度。软件集成自动化存在的主要问题是在不同的设备供应商之间没有标准的通讯协议。设备供应商不向半导体生产商开放通讯协议