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微技术的魅力 微系统技术有着光明的未来。这是因为微米或纳米级小型结构的微型部件和金银丝细品越来越受到欢迎。如生物技术人员就希望能够获得带有微型导液槽的部件或在生物芯片里加入微型泵；汽车工业希望汽油发动机和柴油发动机能够获得更小型化的喷油嘴；传感器的生产厂家也正在把微型化技术向前推进。“尽管所预测的经济状况正在走弱，但是微技术的发展还是会高于平均水平的，其增长会达到20%~30%。”位于Parchim的HNP微系统有限公司的总经理和德国机械设备制造业联合会（VDMA）微技术专业组主席Thomas Weisener博士这样认定。 在加工某些微型部件时，加工力度或毛刺会对微型部件的功能带来负面影响，因此机械加工工艺往往会遇到其应用极限。此外，对带有深型腔的工件外形，机械加工工艺也无能为力。在此情况下，非接触式切削加工工艺，如激光切割以及近年来兴起的所谓电化学铣削就可以发挥出极大的优势。 激光可通过各种合适的光源 实现对所有材料的加工 “规格在100nm以下的极细微的结构在如今采用飞秒（10-15s）激光装置，可优先被运用在陶瓷材料、半导体和玻璃上。”斯图加特大学流体工具学院激光研发和激光光学技术系主任Andreas Vo?博士揭示出了激光微型加工的优势。激光非常灵活，精度很高，并可以（在合适的光源下）加工所有材料。这与要求材料具备导电性的微型蚀刻技术相比，具有很大的优越性。 在“纳秒（1