LEODO人机界面在硅单晶炉的应用.docxVIP

PAGE 1 PAGE 1 LEODO人机界面在硅单晶炉的应用  传统的掌握器由于主要用来实现掌握要求，而人机交互设计则比较简洁。随着工业技术的不断发展，掌握器协作人机界面，使其图文并茂，更加人性化。本文介绍了用LEODO人机界面改造晶体生长掌握器的经验和方法。  一、引言  自从1947年贝尔试验室的WilliamShockely等人创造了晶体管，几十年来，硅智能技术加快了人类探索世界的步伐。不仅全球电子业制造半导体芯片都是采用硅晶体材料，就连现在应用越来越成熟的太阳能技术也离不开硅单晶体。单晶硅的制作普遍采用提拉法，该法可以生长出比较匀称、无缺陷的硅单晶体。目前，利用提拉法可以生长出直径约为150毫米的优质硅单晶。  硅单晶体毛胚  由于硅单晶产品在国内外市场销售旺盛，硅单晶生产厂家不断壮大，对国产软轴硅单晶炉的需求猛增。本文主要是介绍人机界面在这种软轴单晶硅炉系统中的应用。  二、系统配置图  此系统由工作站服务器、LEODO人机界面、晶体生长掌握器和软轴单晶硅炉构成。这种分散掌握方式具有高牢靠性，而且每部分可以独立设计、开发和测试。以前的方式是晶体生长掌握器自己带有小的显示屏和RS485通信接口,由于显示屏的视角很窄，远距离看不清晰，而且RS485通信方式需要单独布线，不太便利，许多用户对此提出要求。还有