玻璃的减薄技术及不良影响.pptx

会计学 1 玻璃的减薄技术及不良影响 Contents 2 第1页/共21页 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 3 第2页/共21页 减薄工艺简介 4 减 薄 方 法 第3页/共21页 技术一：蚀刻 2.蚀刻溶液依靠重力下流，蚀刻玻璃基材表面 。 5 第4页/共21页 Text in here 蚀刻 清洗 技术一：蚀刻 6 减薄流程 第5页/共21页 7 减薄设备 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置 第6页/共21页 技术二：真空激光减薄 8 所谓真空激光减薄技术, 是指利用激光器发 出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑, 并 调节到适当的能量密度,对于处在真空环境 中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化, 从而达到减薄膜层的目的。 第7页/共21页 技术二：真空激光减薄 9 系统原理： 激光束经过聚焦、偏转后, 经 由石英窗口, 照射放置在真空度为 10- 3 Pa 高真空环境中的待加工 晶片, 以实现对晶片表面银电极层 的激光减薄。 系统工作原理图如图。 第8页/共21页 技术二：真空激光减薄 10 优点：( 1) 可以实现对膜层的精确减薄, 且减薄后的膜层不存在性能漂移现象; ( 2) 工作在真空环境下,膜层减薄过程中不会出现对膜层污染、氧化等问题,加之激光加工为非接触加工, 不会对膜层产生机械损伤; ( 3) 利用激光移动灵活的特点, 可以实现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄。 第9页/共21页 技术三：离子减薄技术 11 两个离子枪 从真空室两侧插入 离子束以一定的 掠射角(连续可调) 从样品的两侧轰击样品。 聚光灯从样品 背面照明 当样品出现微孔时 停止减薄。 1 2 3 4 第10页/共21页 控制好玻璃液的温度 合理配置好拉边机进行双向拉薄 技术四：双向稳流拉薄法 12 关键点：围绕玻璃厚薄差和微观波纹度，在“ 稳” 字上采取有效的技术措施。 适用范围：超薄玻璃的生产。 第11页/共21页 13 技术五：逐级渐开拉薄法 1、是在试验的基础上建立起来的； 2、是在超薄浮法玻璃的实际生产当中, 通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法, 对 原有的拉薄方法( 强冷重热拉薄法、徐 冷拉薄法和双向展薄法) 进行了试验探索； 3、其整板厚度、厚薄差、微观波纹度均能满 足用户的质量指标要求。 第12页/共21页 14 减薄工艺自身不良 第13页/共21页 15 减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质. 1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净 玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致 工艺设备 玻璃表面 玻璃本身 第14页/共21页 16 Slimming后划伤 第15页/共21页 17 Slimming后划伤 Lift Pin 凹点 第16页/共21页 18 Slimming后划伤 2.Robot吸盘凹点 第17页/共21页 19 Slimming后划伤 3.轮印 第18页/共21页 21 其它不良 电阻超标 原因： 酸残留 第19页/共21页 End 22 Thanks 第20页/共21页