显微分析2透射电子显微.pptx

显 微 分 析 §1 显微分析概论 §2 光学显微分析 §3 透射电子显微分析 §4 扫描电子显微分析 §5 电子探针X射线显微分析 §6 扫描探针显微分析 电子束和材料的相互作用 吸收 散射 激发 当一束聚焦电子束沿一定方向入射到试样内时，由于受到固体物质中晶格位场和原子库仑场的作用，其入射方向会发生改变的现象 入射电子与原子核外电子发生相互作用，产生连续X射线、特征X射线、二次电子、俄歇电子、背散射电子等。 电子束和材料的相互作用 散射 弹性散射：入射电子与原子核作用（TEM） 非弹性散射 入射电子与原子核外电子作用 散射截面 (卢瑟福经典散射模型） 弹性散射截面： 非弹性散射截面： 原子序数越高，产生弹性散射的比率越大 §3 透射电子显微镜 TEM种类 TEM工作原理 TEM构造 样品制备 透射电镜基本成像操作 像衬度 电子衍射运动学理论 透射电镜应用举例 电子衍射 透射电子显微镜（TEM）是以波长很短的电子束做照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领的电子光学仪器。 普通型 高分辨电镜 (HRTEM) 扫描透射电镜 (STEM) 分析型电镜 (AEM) 1. TEM种类 凸透镜成像原理 阿贝成像原理 平行光束受到有周期性特征物体的散射作用形成各级衍射谱。（同级平行散射波经过透射后都聚焦在后焦面上同一点，形成衍射振幅的极大值……s2’, s1’, s0, s1, s2 ……）。 各级衍射波通过干涉重新在像平面上形成反映物的特征的像。 2. TEM工作原理（同光学显微镜） ①所有从同一点出发的不同方向的电子，经透镜作用后，交于像平面同一点，构成相应的象。 ②从不同物点出发的同方向同相位的电子，经透镜作用后，会聚于焦平面上一点，构成与试样相对应的散射花样。 3. TEM构造 照明系统 成像系统 记录系统 真空系统 电器系统 核心 辅助 主要组成部分： Illumination system Imaging system Image viewing and recording 照明系统和 成像系统 的核心元件： 电磁透镜 3.1 电磁透镜 电子显微镜可以利用电场或磁场使电子束聚焦成像，其中用静电场成像的透镜称为静电透镜，用电磁场成像的称为电磁透镜。 目前研制的电子显微镜中大都采用电磁透镜。 静电透镜：几万伏电压 电磁透镜：几十伏到100V 1.电磁透镜的结构： * 磁场沿透镜的长度方向是不均匀，但轴对称。其等磁位面的集合形状与光学玻璃透镜的界面相似，因而具有类似凸透镜的光学性质 2.电磁透镜的聚焦原理:   通电的短线圈就是一个简单的电磁透镜，它能造成一种轴对称不均匀分布的磁场。穿过线圈的电子在磁场的作用下将作圆锥螺旋近轴运动。而一束平行于主轴的入射电子通过电磁透镜时将被聚焦在主轴的某一点。 电子在均匀磁场的运动方式 电磁透镜的磁场 3. 电磁透镜的光学性质 * 电磁透镜物距u，像距v，焦距f之间的关系 * 电磁透镜焦距f与激磁电流I之间的关系 V－电子加速电压；R－透镜半径 NI－激磁线圈安匝数；A－与透镜结构有关的比例常数 放大倍数： 电磁透镜光学性质特点： 1. 电磁透镜是一种焦距（或放大倍数）可调的会聚透镜。 减小激磁电流，可使电磁透镜磁场强度降低，焦距变长， 从而使放大倍数增大。 16 2. 电磁透镜成像时有一附加的旋转角度，称为磁转角φ 。物与像的相对位向对实像为180－φ ，对虚像为φ 4. 电磁透镜的像差 球差 像散 色差 衍射效应 球面像差 (球差) 球面像差是指在电磁透镜的磁场中，近轴区域磁场对电子束的折射能力与远轴区域磁场对电子束的折射能力不同而产生的。一个理想的物点所散射的电子经过具有球差的电磁透镜后，不能会聚于同一个像点上，而被分别会聚在一定的轴向距离上。在轴向距离范围内，存在着一个最小的焦斑。必须尽可能减小球差引起的最小散焦斑的尺寸，以利提高透镜的分辨本领。 δs = Csα 3 δs：最小漫散圆半径 Cs：球差系数 α ：半孔径角 色差:是由于成像电子波长 (或能量) 变化引起电磁透镜焦距变化而产生的一种像差。一个物点散射的、具有不同波长 (或能量) 的电子进入透镜磁场后，如果不能聚焦到一个像点上，而分别交在一定的轴向距离范围内，在轴向距离范围内存在着一个最小散焦斑，即色差散焦斑 引起电子束能量变化的主要有两个原因： 电子的加速电压不稳定； 电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 透镜色差系数 电子束能量的