一种高精度的圆分度测量原理.doc

一种高精度的圆分度测量原理 摘　要：提出一种能提高圆分度测量系统精度的测量原理。通过应用信号分析技术对圆分度测量系统中适当布置的两个读数头的读数信号进行分析处理，可分离出由测量系统主要误差源引起的前几十阶读数谐波误差并予以修正。应用本测量原理的圆分度测量系统的精度高于采用平均读数原理的圆分度测量系统，并可简化测量系统结构，使测量易于实现。 关键词：圆分度　测量精度　信号分析技术 A Precise Measuring Principle of Angular Indexing Liu Wenwen Abstract：A new measuring principle which can increase the accuracy of the angular indexing measuring system is presented．By using the signal analyzing technology to deal with signals read by two read heads of the angular indexing measuring system，the harmonic errors caused by main error resources of the measuring system can be detach and correct．The accuracy of the measuring system using the measuring principle is superior to that using the average read principle．Meanwhile，the structure of the measuring system can be simplified． Keywords：angular indexing measuring accuracy signal analyzing technology 　　1．引言 　　在圆分度测量系统中，目前多采用平均读数原理来提高测量精度，其基本方法是通过在度盘圆周上均布多个读数头，利用平均读数有规律地消除读数中的部分谐波误差。但这种方法存在一定局限性，一是读数中仍然残留读数头个数整数倍的读数谐波误差，使测量精度难以进一步提高（尤其当读数头个数较少时）；二是应用平均读数原理提高圆分度测量系统精度必须建立在多个读数头的特性完全一致的前提下，这就必然增加圆分度测量系统的制造难度和制造成本（尤其当读数头个数较多时）。 　　本文提出一种可有效提高圆分度测量系统精度的新的测量原理。实际测量证明，应用本原理的圆分度测量系统精度高于采用平均读数原理的圆分度测量系统，同时还具有测量系统结构简单、测量易于实现等优点。 　　2．基本原理 　　应用本测量原理的圆分度测量系统如图1所示。被测度盘2与标准度盘1同轴安装，它们可绕共同的回转中心O作同步转动或相对转动，读数头3、4分别对标准度盘进行细分读数，瞄准显微镜5实现对被测度盘的瞄准。测量时，首先相对移动两度盘，使瞄准显微镜瞄准被测度盘的“0”刻线时读数4的读数为0，并设定此时主轴回转角度为0。当主轴回转角度为θ时，瞄准显微镜瞄准被测度盘的θi刻线，读数头4、3的读数分别为ai，bi，在圆周上测得N组数据（θi，ai，bi）（i＝0，1，2，…，N-1）。 1．标准度盘　2．被测度盘　 3，4．读数头　5．瞄准显微镜 图 　　圆分度测量系统存在三种主要误差：标准度盘的刻划误差、主轴晃动误差和度盘的安装偏心误差，它们均会引起读数头的读数误差，所以读数头3、4的读数中实际包含了被测度盘的刻划误差Δi和上述三种主要误差引起的读数误差，其中读数误差是一以2π为周期的函数误差。若以f（θ）表示此周期函数误差，则有 　　（1） 则读数头4的读数为 　　（2） 若测量过程中按顺时针方向转动，由于读数头3的位置与读数头4相差β角，故读数头3的读数同样包含读数误差，只是在相位上超前了β角，则有 　　（3） 　　在读数信号（ai，bi）中，不能直接分离出被测度盘的刻划误差Δi，如果将读数头3的读数减去读数头4的读数，得到综合信号di为 　　（4） 经过适当处理后有 　　（5） 综合信号di消除了被测度盘的刻划误差Δi，只包含测量系统的读数误差。di也是一周期为2π的谐波函数信号，故可应用信号分析技术对di进行谱分析。若圆周上的读数个数为N时，利用FT分析可分离出di中的前N／2阶谐波误差，即 　　（6） 从而可得到前N／2阶谐波的幅值和相位（Dk，ψk）。比较式（5）和式（6），可得读数头的读数谐波误差信号的幅值和相位（Ak，φk）与（Dk，ψk）的关系为 　　（7） 则被测度盘的刻划误差为