第19章俄歇电子能谱分析.docx

第 19 章 俄歇电子能谱分析 引言 俄歇电子的发现可以追溯到 1925 年， 1953 年开始研究俄歇电子能谱， 直到 1967 采用了微分方式，才开始出现了商业化的俄歇电子能谱仪，并开展成为一 种研究固体外表成分的分析技术。 由俄歇电子的信号非常弱， 二次电子的背景又 很高，再加上积分谱的俄歇峰又比拟宽，其信号根本被二次电子的背底所掩盖。 因此， 刚开始商业化的俄歇电子能谱仪均采用锁相放大器， 记录微分信号。 该技 术可以大大提高俄歇电子能谱的信背比。 随着电子技术和计算机技术的开展， 现 在的俄歇电子能谱已不再采用锁相模拟微分技术，直接采用计算机采集积分谱， 然后再通过扣背底或数字微分的方法提高俄歇电子能谱的信背比。 扫描俄歇电子 微探针谱仪也开展到可以进行样品外表扫描分析，大大增加了微区分析能力。 与 X 射线光电子能谱〔 XPS〕一样，俄歇电子能谱〔 AES〕也可以分析除 氢氦以外的所有元素。 现已开展成为外表元素定性、 半定量分析、 元素深度分布 分析和微区分析的重要手段。 三十多年的来， 俄歇电子能谱无论在理论上和实验 技术上都已获得了长足的开展。 俄歇电子能谱的应用领域已不再局限于传统的金 属和合金，