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大影响激光干涉仪测量 精度的因素 文档编制序号：[KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688] 6大激光干涉仪影响因素，提高数控机床检测准确度全靠它了！ 激光干涉仪是精度最高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定 义，可溯源至国家标准，通过与不同的光学组件结合，可以实现对各类机床的 线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测 量，并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析， 在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。 但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高 精度检测时，对设备产生怀疑。今天我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的 部分原因。 1、 阿贝误差 因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差 称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学 镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。 角度、偏置距离引起的误差表（单位：um） 角度