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- 2022-03-04 发布于上海
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电子用氟化氢铵溶液指标
项 指标
目 低尘高纯 MOS
主含量（以NHF计）% 33.8-35 8 33.8-35 8
4 。 。
（以HF计）% 5.9-6 9 5.9-6 9
。 。
氯化物，ppm ≤ 8 4
硫酸盐，ppm ≤ 2
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