扫描电镜培训报告.pptVIP

来源：我公司电镜实验室（钢号SS400B） 图中，灰色区域中，同样是铁素体，有的高，有的矮，这是铁素体位向不同，盐酸对其侵蚀程度不同而造成的。 珠光体＋铁素体 来源：我公司电镜实验室（45#） 索氏体＋珠光体＋ 铁素体 来源：北科大材料学院（我公司65#） 回火索氏体＋未熔铁素体 来源：北科大材料学院（我公司30MnSi钢棒） 马氏体 来源：北科大材料学院（淬火钢） 粒状贝氏体＋多边形铁素体 来源：北科大材料学院（超低碳Q960钢） 粒状贝氏体＋准多边形铁素体 来源：北科大材料学院（X80管线贝氏体钢） 微区成分及夹杂检验 利用能谱仪探头可以定性、定量的对微区成分及钢中夹杂物进行分析。 扫描电镜培训报告 报告人：何力国、王刚 2009年12月18日 培训概况 培训内容 疑难问题解答 一、培训概况 培训时间： 2009年11月23日上午～28日上午； 培训地点： 北京科技大学材料测试楼电镜室； 培训老师： 崔凤娥――北京科技大学电镜操作老师； 培训方式： 1）基础知识培训； 2）观看老师给学校的学生做的各类电镜试样； 3）根据我们提出的问题现场答疑。 二、培训内容 样品的制备 扫描电镜工作原理 能谱仪工作原理 扫描电镜的主要应用 电镜的使用技巧及注意事项 1、样品的制备 电镜样品制备的两个原则 a、样品清洁干燥、且在真空中稳定 b、样品导电或与样品台能够形成回路 试样的清洁干燥 含有水分的试样应先烘干除去水分。表面 受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的 前提下进行适当清洗，然后烘干。可用酒精或 丙酮在超声波清洗仪里清洗后吹干 。 试样的尺寸 样品尽量的小，最大不能超出样品台边缘，高度以10mm以下为宜。 导电样品的制备 块状导电材料，除了大小要适合仪器样品座尺寸外样品需清洁干燥、试样底部平整便于平稳的粘贴在样品台上。 粉末样品的制备 先将导电胶或双面胶纸粘结在样品座上，再均匀地把粉末样撒在上面，用吸耳球吹去未粘住的粉末，再镀上一层导电膜，即可上电镜上观察。 绝缘/弱导电样品的制备 对于绝缘体或导电性差的材料来说，则需要预先在分析表面上镀一层厚度约10～20 nm的导电层。否则，在电子束照射到该样品上时，会形成电子堆积，阻挡入射电子束进入和样品内电子射出样品表面。 样品表面未处理干净而造成的局部电荷堆积放电 2、扫描电镜的构造 由五个系统组成(1)电子光学系统（镜筒） (2)扫描系统(3)信号收集和图像显示系统(4)真空系统(5)电源系统 电子枪发射的电子束 经过3个电磁透镜聚焦 信号强度随样品表面特征而变。它们分别被相应的收集器接受，经放大器按顺序、成比例地放大后，送到显像管。 在样品表面按顺序逐行 扫描，激发样品产生各种物理信号:二次电子、背散射电子、特征X射线等。 3、工作原理 扫描电镜的成像原理和光学显微镜大不相同，它不用什么光学透镜来进行放大成像，而是用钨灯丝产生高速电子束击打样品表面激发出各种信号，由激发的信号转化成衬度不同的图像来实现对样品的观察。 ↓ ↓ ↓ 高能电子束 二次电子 背散射电子 阴极荧光 样品电流 透射电子 电子束感生电流 二次电子探头 ~10nm (二次电子激发深度) 散射电子 特征X射线 电子束击打样品后产生的各种信号 主要电子信号 背散射电子：是被样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。它来自样品表面几百纳米的深度范围，由于它的产额能随样品原子序数增大而增多，所以可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析，即BSD探头收集信号进行分析。 二次电子：被轰击出来并离开样品表面的样品的核外电子。二次电子一般都在表层5～10nm深度范围内发射出来，它对样品的表面形貌十分敏感，因此能非常有效的显示样品表面形貌；它的强度与原子序数没有明确的关系，故不能显示原子序数衬度。 特征X射线及能谱仪 当样品原子的内层电子被入射电子激发或电离时，原子就会处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而使具有特征能量的X射线释放出来。不同元素的特征X射线也不同，每种特征X射线的波长、能量都各不相同，用来收集特征X射线、并根据测定特征波长来分辨元素的普仪叫波普仪（WDS），根据测定特征能量来分辨元素的普仪叫能普仪（EDS）。 微分析中的激发空间和渗透深度 样品表面 高能电子束 (E0) 二次电子空间分辨率 背散射电子空间分辨率 特征X射线空