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* 二次电子像分辨率 电镜分辨率是指样品上可分辨两个结构细节之间的最小距离。因为扫描电镜是由电子束逐点扫描成象的，故图象分辨率与电子束的直径密切相关。其次，它还决定于样品本身各本分之间的衬度特性。第三，由于信号电子来自样品中一定的取样体积，后者也直接影响着分辨率。 功能 利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。 功能 电子背散射系统：对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息； 扫描电子显微镜下流动的人体血液 功能 X射线显微分析系统：对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。 应用 二十世纪60年代以来,出现了扫描电子显微(SEM)技术,这样使人类观察微小物质的能力发生质的飞跃.依靠扫描电子显微镜的高分辨率、良好的景深和简易的操作方法,扫描电子显微镜(SEM)迅速成为一种不可缺少的工具,并且广泛应用于科学研究和工程实践中。 应用 材料的组织形貌分析观察 镀层表面形貌分析和深度检测 微区化学成分分析 显微结构的分析、显微组织及超微尺寸材料的研究 断口形貌分析观察 纳米材料分析、纳米尺寸的研究 纳米尺寸的金属颗粒 上图：陶瓷表面荷电的状况 下图：陶瓷表面在成分分析后留下的碳质黑斑 阴极荧光附件---只检测光信号强度，无法区分不能元素 纳米钛酸钡陶瓷的扫描电镜照片,晶粒尺寸平均为20nm 应用 晶体学取向测定 背散射电子衍射花样 电子背散射衍射分析技术应用于微区的晶体取向分析、相鉴定、应变分析和织构分析等领域。 电子通道花样 应用ECP技术可以测定晶格常数、晶体中位错密度、表面的退磁场以及入射电子能量的测定和物镜的球差系数等。 位错 应用 铁电畴的观测 扫描电子显微镜观察到的 PLZT材料的 90°电畴。 通过对样品表面预先进行化学腐蚀来实现的，由于不同极性的畴被腐蚀的程度不一样，利用腐蚀剂可在铁电体表面形成凹凸不平的区域从而可在显微镜中进行观察。 Thank you ! * * * S E M 扫描电子显微镜 真空抽气系统 检测器 电源电路系统 电子光学系统 Part 1 Part 2 Part 3 Part 5 Part 4 试样室 扫描电子显微镜的组成 扫描电子显微镜的性能特性 1.试样在样品室中自由度极大 2.观察试样的视场大 4.放大倍数宽，不用经常对焦 3.焦深极大，富有立体感 5.受电子照射的损伤程度小 扫描电镜 工作原理示意图 真空系统 1.油扩散泵系统。真空度10^-3~~10^-5 2.涡轮分子泵系统。真空度10^-4以上 3.离子泵系统。真空度10^-7到10^-8 电子枪 朗谬尔方程 电子枪 1.电磁透镜 2.扫描线圈 3.消散器 透镜系统 电子束与样品作用产生的物质 二次电子 定义：在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的样品原子的核外电子叫做二次电子。 二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系，所以不能用它来进行成分分析. 背散射电子和透射电子 背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 透射电子是穿透固体样品的部分入射电子。 俄歇电子 俄歇电子：原子中一个K层电子被入射光量子击出后，L层一个电子跃入K层填补空位，此时多余的能量不以辐射X光量子的方式放出，而是另一个L层电子获得能量跃出吸收体，这样的一个K层空位被两个L层空位代替的过程称为俄歇效应，跃出的L层电子称为俄歇电子。 特征X光和阴极荧光 特征X光和阴极荧光是由于电子从高能级向低能级跃迁的过程中，损失的能量以光子的形式释放出去，不同频率的光子形成了不同的光。 不同的物理信号要用不同类型的检测系统。它大致可分为三大类，即电子检测器、阴极荧光检测器和X射线检测器。 　　　　电子检测器电子检测器主要由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成。 次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。 　　　　X射线检测器 以上为SEM中比较常用的两种检测器 链接：/jishuziliao.htm * 图像显示系统 二次电子像具有如下性质： （1）成象信息主要是能量等于0—50eV的二次电子。 （2）对各种成象的信息来说，二次电子像分辨率最高； （3）从二次电子像上可以看到更多的层次结构。 * 成像几何衬度 二次电子像的衬度主要来自试样表面的集合形貌。信号电流强度 和几何参数 间存在着如下关系：Is=If(G,Vc,Es) σ0secφ 式中 φ为入射电子束对于试样表