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何谓洁净室?
一、洁净室之定义洁净室(CleanRoom),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。
没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮
微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并
将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某
一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均
能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压
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