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2硅片制备与高温工艺.pdf

2硅片制备与高温工艺.pdf

    集成电路工艺基础 2 、硅片制备与高温工艺 微电子学院 戴显英 2010年9月 1 硅片制备 单晶生长： 拉法、区熔法 高温工艺 氧化 扩散 退火

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