纳米加工技术.pptxVIP

会计学;纳米加工技术概述;? 纳米技术将引发一场新的工业革命 2010年现在的微电子器件芯片的线宽将达到0.1～0.07nm，小于此尺寸，器件应按新原理设计。其性能将大大提高，这将是对信息产业和其它相关产业的一场深刻的革命。; 纳米加工技术指能够在纳米尺度上改变物质结构或物质特性的加工技术，能够实现原子级的迁移、增添或删除操作。如何进行有效控制以达到原子级的去除，是实现纳米级加工的关键。;金刚石刀具超精密切削加工——用于平面、圆柱面和非球曲面的镜面切削加工。 可延???纳米级磨削——用于量块、光学平晶，集成电路的硅基片。 在线电解修整（ELID）砂轮磨削——用于硬脆材料超精密镜面磨削。;电子束、聚焦离子束、激光束微细加工 优点：1.高能量，可进行超高速加热和冷却 2.高能束直径可到达纳米级 3.高能束偏转扫描柔韧性好、无惯性，能 全方位加工 4.非接触加工，无需刀具，无加工变形 5.几乎可对任何材料加工 加工方法： 1.光学光刻 2.X光光刻 3.电子束光刻 4.离子束加工 5.原子层刻蚀 6.原位制作技术 ;优点： 1、可制造较大高宽比的结构； 2、取材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物、玻璃等； 3、可制作任意截面形状图形结构，加工精度高； 4、可重复复制，符合工业上大批量生产要求，制造成本相对较低等。 用途： 广泛应用于微传感器、微电机、微执行器、微机械零件、集成光学和微光学元件、真空电子元件、微型医疗器械、流体技术微元件、纳米技术元件等的制作。; 扫描隧道显微镜（STM）工作原理： 把极小的针尖和被研究的物质表面作为两个电极，当样品表面与针尖的距离非常小(1nm)时，在外电场作用下电子即会穿过两极间的绝缘层流向另一极，产生隧道电流，并通过反馈电路传递到计算机上表现出来。 ;发展前景的展望