ESD内部审核检查表（格式可转换编辑）.pdf

ESD内审员稽查标准条款 项 审核结果或整 NO. 内容 涉及管控部门 审核记录 责任人 跟踪结果 目 改日期 是否建立有明确的ESD组织机构，并有专门的ESD负责 品质中心 1 人推行ESD工作？ 是否有完善的防静电体系的文档、制度 (如：EPA等级 、培训、稽查、考核、人员要求、接地要求、标识要 品质中心 求、检测方法、工程变更、用品管理、材料控制等)? 2 是否有正式的作业指导书 (如：腕带和人体电阻测试 方法、离子风机使用方法、接地监控仪使用方法等) 品质中心 指导员工如何进行正确的防静电操作？ 一 3 ： 防静电操作指导书的内容是否准确、一致，具有可操 E 品质中心 作性 (合理性)？ S 4 D 是否有正式的ESD培训计划？ESD入职、在职人员ESD 体 人力资源部 系 5 培训教材？ 规 员工ESD培训档案是否保存完整，员工培训记录是否 划 人力资源部 有据可查？ 与 6 文 件 是否建立了完善ESD稽查制度，包含周度稽查、月度 品质中心 管 7 稽查、季度稽查、年度稽查? 理 稽查记录是否保存完整，并有据可查？ 品质中心 8 是否建立了定期的防静电硬件的维护和检测制度？ 品质中心 9 ESD记录数据 (人体电阻、腕带测试、温湿度记录、各 生产、IQC、仓 类防静电硬件设施维护及功能检测记录等)是否完 库 整，并经ESD负责人审核，保存 良好? 10 防静电用品定期检测记录，是否有数据不全或不正确 生产、IQC、仓 的现象？ 库 11 防静电用品定期检测记录中，不满足ESD要求的项 目 生产、IQC、仓 是否有改善措施？ 库 12 是否建立了防静电硬件的认证流程？ 品质中心 13 防静电硬件的认证是否有在固定的温湿度环境 (建议 品质中心 温度:25±5℃，相对