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第十四章 扫描探针显微分析技术 一. 绪论 二. 扫描隧道显微镜（STM） 三. 原子力显微技术（AFM） 四. 磁力显微技术 第一页，共三十四页。 一. 绪论 社会发展、科技进步总伴随着工具的完善和革新。以显微镜来说吧，发展至今可以说是有了三代显微镜。这也使得人们对于微观世界的认识越来越深入，从微米级，亚微米级发展到纳米级乃至原子分辨率。 微观世界的探索 第二页，共三十四页。 第一代为光学显微镜 1830年代后期为M.Schleide和T.Schmann所发明；它使人类“看”到了致病的细菌、微生物和微米级的微小物体，对社会的发展起了巨大的促进作用，至今仍是主要的显微工具 . 第三页，共三十四页。 第二代为电子显微镜 20世纪三十年代早期卢斯卡（E.Ruska）发明了电子显微镜，使人类能”看”到病毒等亚微米的物体，它与光学显微镜一起成了微电子技术的基本工具。 第四页，共三十四页。 第三代为扫描探针显微镜 也可简称为纳米显微镜。1981年比尼格和罗勒发明了扫描隧道显微镜（STM），使人类实现了观察单个原子的愿望；1985年比尼格应奎特发明了可适用于非导电样品的原子力显微镜（AFM），也具有原子分辨率，与扫描隧道显微镜一起构建了扫描探针显微镜（SPM）系列。 第五页，共三十四页。 三种观察原