iso4644-3检测方法分析和总结.pdfVIP

ISO 14644-3 第一版 洁 2005-12-15 净室及相关受控环境 —— 第3部分： ….. 检测方法 Reference number 洁净室及相关受控环境 ISO 14644-3:2005(E) 第 3部分：检测方法 目 次 前言 引言 1 范围 2 引用标准 3 术语与定义 3.1 概述 3.2 空气悬浮粒子测量 3.3 空气过滤器与系统 3.4 气流 3.5 静电测量 3.6 测量仪器与测量条件 3.7 占用状态 4 检测方法 4.1 洁净室检测 4.2 原理 5 检测报告 附件A （资料）各种检测的选择和实施顺序 附件B （资料）检测方法 附件C （资料）检测仪器 文献（略） 前 言 国际标准化组织（ISO）为全球各国标准化组织（ISO 成员）的联合会，国际标准的编写工作由 其下的各技术委员会进行。ISO 的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣，它就有权参加该 技术委员会的工作。国际上凡与ISO 保持联系的政府的或是非政府组织，均可参与此项工作。ISO 在 电气技术标准化的各项事宜中，与国际电气技术委员会（IEC ）进行紧密合作。 国际标准草案是按照ISO/IEC 指导条例第2 部分的法则制定的。 技术委员会的主要任务是制定国际标准。国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行 传阅，以待表决。至少需要75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。 ISO 14644 的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。ISO 不对识别任何或全部这类专利权负 责。 洁净室及相关受控环境 ISO 14644-3 是由 技术委员会ISO/TC 209 编写的。 洁净室及相关受控环境 ISO 14644 在 的总标题下包含下述各部分： —— 第1 部分：空气洁净度分级 证明一直符合 的检测和监测技术条件 —— 第2 部分： ISO 14644-1 —— 第3 部分：检测方法 —— 第4 部分：设计、建造和启动 —— 第5 部分：运行 隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境 —— 第7 部分： ） —— 第8 部分：空气分子污染分级 正在编写的部分有： —— 第6 部分：词汇 引 言 洁净室及相关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平，以完成相关的、对污染敏感的活动。 下述行业的产品和工艺均受益于对空气悬浮污染物的控制：航天、微电子、制药、医疗器械、食品和 医疗。 本部分ISO 14644 说明的检测方法，可用于说明ISO 14644 其它部分中所述的洁净室的特性。 注：本部分ISO 14644 并未包括所有洁净室参数的检测方法。ISO/TC 209 编制的其他文件中讨论了有特定产品或 工艺的洁净室和洁净区的其他参数进行检测时所使用的方法和仪器（例如ISO