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微机电系统 执行器 微 电 机 机电工程与自动化学院 MEMS执行器 第一页，共四十页。 微电机的概述 微电机的分类介绍 微电机的应用 微电机的研究和发展方向 论文结构 第二页，共四十页。 微电机概述 第三页，共四十页。 执行器根据信号处理，控制电路发出的指令自动完成人们所需要的各种功能。可以通过静电力、电磁力、压电力、磁致伸缩、超声波和形状记忆合金膜片等驱动。. 微执行器的核心部件是微电动机, 在微执行器中占主导地位。根据其执行原理不同分为不同类型，其各自的性能和应用场合也各异。 微电机概述 第四页，共四十页。 各种执行方式比较 静电执行 材料简单 需折中驱动力与位移大小 执行相应速度快 易受吸合效应的限制 热执行 能得到较大位移量 功耗相对较大 执行相应速度适中 对环境温度变化敏感 压电执行 响应快速 材料制备过程复杂 可得到较大的位移量 低频工作时性能下降 磁执行 可产生较大角度位移量 制造工艺较为复杂 可使用很强磁力作为偏置 片上螺线管制造较为复杂 微电机概述 第五页，共四十页。 微电机分类 微电机 静电型微电机 电磁型微电机 压电微电机 形状记忆合金微电机 磁致伸缩型微电机 第六页，共四十页。 当两个导体施加电压的时候，会