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X射线光电子能谱数据处理及分峰步骤 中国科学院化学研究所 刘芬 2005.10.21 第一页,共二十九页。 Region 120045301248102550XPSAl K-alpha1486.600000FAT301E+374.45300000N1sN1s-1Kinetic EnergyeV1072.60.051 一、在Origin中作图步骤: 1、打开文件,可以看到一列数据,找到相应元素(如N1s)对应的Region (一个Region 对应一张谱图),一个文件有多个Region。 2、继续向下找到Kinetic Energy,其下面一个数据为动能起始值,即谱图左侧第一个数据。用公式 BE始=1486.6-KE始-? 换算成结合能起始值,?是一个常数值,即荷电位移,每个样品有一个值在邮件正文中给出。 第二页,共二十九页。 N1sN1s-1Kinetic EnergyeV1072.60.051Countspulse counting0.16000004012202.524127.082458.362559.722523.562553.482509.8 3、再下面一个数据是步长值,如0.05或0.1或1,每张谱图间有可能不一样。 4、继续向下,可以找到401或801这样的数,该数为通道数,即有401或801个数据点。 5、再下面的数据开始两个数据是脉冲,把它们舍去,接下来的401或801个数据都是Y轴数据,将它们copy到B(Y)。 第三页,共二十九页。 第四页,共二十九页。 第五页,共二十九页。 第六页,共二十九页。 6、X轴:点A(X),再点右键,然后点set column values,出现一个对话框,在from中填1,在to中填401(通道数),在col(A)中填BE始-0.05*(i-1), 或直接填1486.6-KE始-? - 0.05*(i-1),最后点do it。 7、此时即可以作出N1s谱图。 8、画出来的图有可能有一些尖峰,那是脉冲,应把它们去掉,方法为点Data-Move Data Points,然后按键盘上的 或 箭头去除脉冲。 第七页,共二十九页。 第八页,共二十九页。 第九页,共二十九页。 二、分峰步骤 1、将所拷贝数据转换成TXT格式:把所需拟合元素的数据引入Origin后,将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据,需在Origin中做好处理。 第十页,共二十九页。 第十一页,共二十九页。 2、打开XPS Peak,引入数据:点Data----Import (ASCII),引入所存数据,则出现相应的XPS谱图。 第十二页,共二十九页。 3、选择本底:点Background,因软件问题, High BE和Low BE的位置最好不改,否则无法再回到 Origin,此时本底将连接这两点,Type可据实际 情况选择,一般选择Shirley 类型。 第十三页,共二十九页。 第十四页,共二十九页。 4、加峰: 点Add peak,出现小框,在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型(一般选s),在Position处选择希望的峰位,需固定时则点fix前小方框,同法还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系,如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45,峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak选第二个峰,如此重复。 第十五页,共二十九页。 第十六页,共二十九页。 第十七页,共二十九页。 5、拟合:选好所需拟合的峰个数及大致参数后,点Optimise region进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可以多次点Optimise region。 6、参数查看:拟合完成后,分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数,此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region满意,可改变这些峰的参数,然后再点Optimise。 第十八页,共二十九页。 第十九页,共二十九页。 第二十页,共二十九页。 7、点Save XPS存图,下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。 第二十一页,共二十九页。
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